3铁电材料的研究.docVIP

本科毕业论文 王壮 200831120224 指导教师 徐初东 讲师 学院名称 理学院 专业名称 电子信息科学与技术 论文提交日期 2012年05月26日 论文答辩日期 年 月 日 摘 要 具有铁电性，且厚度在数十纳米至数微米的薄膜材料称为铁电薄膜材料。铁电材料是一类重要的功能材料，是近年来高新技术研究的前沿与热点之一。这不仅是因为薄膜材料几何设计的可塑性，更重要的是铁电薄膜具有优越的介电性、压电性、电极化特性、热释电效应、电光效应、高解电系数和非线性光学性质等一系列特殊性质，可以利用这些性质制作不同的功能器件，并可望通过铁电薄膜材料与其它材料的集成或复合，制作集成性器件。随着铁电薄膜制备技术的发展，使现代微电子技术与铁电薄膜的多种功能相结合，必将开发出众多新型功能器件，促进新兴技术的发展，因此对铁电薄膜的研究已成为国内、国际上新材料研究中的一个十分活跃的领域。90年代，随着微电子技术、光电子技术和传感器技术等的发展，对铁电材料提出了小型轻量、可集成等更高的要求从而使大批新型铁电薄膜器件或器件原型不断涌现。在铁电薄膜的许多应用中，铁电存储器尤其引人注目。铁电薄膜存储器既有动态随机存储器(DRAM)快速读写功能，又有可擦除只读存储器(EPROM)的非易失性，还具有抗辐射、功耗和工作电压低、工作温度范围宽、易与大规模集成电路兼容等特点，因而在铁电随机存储器(FRAM)、超大规模集成动态随机存储器(ULSI DRAM)、铁电存储器全光存储器等领域有广阔的应用前景。 关键词 铁电材料 制备技术 铁电薄膜 铁电体 目 录 1引言 1 2 铁电材料概述 1 2.1 铁电材料的发展历史 1 2.2 铁电材料的原理机制 2 2.3铁电体的一般特性 3 2.4.1 溅射镀膜法 5 2.4.2 金属有机化合物气相沉积(MOCVD) 5 2.4.3溶胶—凝胶(Sol-Gel)法 6 2.4.4 金属有机化合物热分解(MOD)法 6 2.4.5 脉冲激光沉积(PLD)法 6 2.4.6激光分子束外延(L-MBE)法 7 2.4.7 液态源雾化化学沉积法 7 2.4.8 自组装与分子自组装技术 7 2.5铁电材料的分类 8 2.6 铁电材料的应用 8 3铁电材料的研究 12 3.1 铁电材料的研究背景 12 3.2铁电材料的研究方法 13 3.2.1 Ginzburg·Landau-Devonshire（GLD）唯象理论 13 3.2.2软模理论 14 3.3铁电材料的研究现状 14 3.3.1尺寸效应和表面界面效应 15 3.3.2金属或半导体电极间的铁电薄膜 16 3.3.3铁电聚合物和复合材料的研究 17 4 结论与展望 17 致 谢 19 参 考 文 献 20 Abstract . 22 1引言 一般认为,铁电性的研究始于1920年,是法国人Valasek发现的铁电现象,他观察到罗息盐(酒石酸钾钠,NaKC4H4O6 .4 H2O) 的极化可以在施加外电场的情况下反向。1935 - 1938年,苏联的G. Busch 和P. Schemer 研制出水溶性压电晶体磷酸二氢钾( KH2PO4 ,简称KDP) 和磷酸二氢氨( (NH4) H2PO4 ,简称ADP) ,在四十年代得到了广泛应用,对铁电材料的发展起了很大的推动作用。目前,世界上的铁电元件的年产值己达数百亿美元。铁电材料是一个比较庞大的家族,目前应用得最好的是陶瓷系列。但是由于铅的有毒性及此类铁电材料居里温度低、耐疲劳性能差等原因,应用范围受到了限制。开发新一代铁电材料己成为当今的热门问题。 2 铁电材料概述 2.1 铁电材料的发展历史 关于铁电的发展历史，大体可以分为以下四个阶段。 一般认为，铁电体的研究始于1920年，当年法国人发现了罗息盐酒石酸钾钠，场的特异的介电性能，导致了“铁电性”概念的出现。迄今铁电研究可大体分为四个阶段。第一阶段是1920-1939年，在这一阶段中发现了两种铁电结构，即罗息盐和KH2PO4系列。第二阶段是1940-1958年，铁电维象理论开始建立，并趋于成熟。第三阶段是年到年代，这是铁电软模理论出现和基本完善的时期，称为软模阶段。第四阶段是1980年至今，主要研究铁电薄膜和铁电超晶格等非均匀系统。 1、罗息盐时期一发现铁电性 罗息盐即酒石酸钾钠( NaKC4H406·4H20)是上千种铁电体中最早被发现的晶体之一．它存在上、下两个居里点，297K和255K。在这两个温度之间，它处于铁电相。大于297K或小于255K时处于顺电相,六方结构。　2、 KDP时期一铁电热力