压电式传感器44976.ppt

9.3 压电式传感器 9.3.1 压电式传感器的工作原理 9.3.2 等效电路及信号变换电路 9.3.3 压电式传感器应用 9.3.1 压电式传感器的工作原理 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电荷) 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。(施加电场 电介质产生变形 应力 ) 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。 9.3.1.1 压电效应 某些单晶体或多晶体陶瓷电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个对应晶面上便产生符号相反的等量电荷，当外力取消后，电荷也消失，又重新恢复不带电状态，这种现象称为压电效应 压电效应示意图 压电材料的压电特性常用压电方程来描述 : qi=dijσj 或Q=dijF 当晶体在任意受力状态下产生的表面电荷密度可由下列方程组决定： 9.3.1.2 压电材料 压电材料的主要特性参数有： A．压电常数：是衡量材料压电效应强弱的参数，影响压电输出的灵敏度。 B．弹性常数：决定压电器件的固有频率和动态特性。 C．介电常数：影响压电元件的固有电容，随之影响压电式传感器的频率下限。 D．机电耦合系数：指压电效应中，转换后的输出能量与转换前的输入能量之比的平方根。机电耦合系数用于衡量压电材料在压电效应中的能量转换效率。 E．电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 F．居里点：当温度升高到一定程度后，材料的压电特性消失。压电材料开始失去压电特性的温度称为居里温度。 1. 石英晶体的压电效应 晶体切片 当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 切片上电荷的符号与受力方向的关系 石英晶体的压电效应 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 2. 压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 陶瓷片极化 压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 Q —— 电荷量； d33 —— 压电陶瓷的压电系数； F —— 作用力。 （3） 压电高分子材料 高分子材料属于有机分子半结晶或结晶聚合物，其压电效应较复杂，不仅要考虑晶格中均匀的内应变对压电效应的贡献，还要考虑高分子材料中作非均匀内应变所产生的各种高次效应以及同整个体系平均变形无关的电荷位移而表现出来的压电特性。 聚偏二氟乙烯 （4） 压电材料的选取 选用合适的压电材料是设计、制作高性能传感器的关键。一般应考虑以下因素 A．转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电系数； B．机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大，以获得宽的线性范围和高的固有振动频率； C．电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特征； D．温度、湿度稳定性好：要求具有较高的居里点，以获得宽的工作温度范围； E．时间稳定性：压电特性不随时间褪化。 常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 常用压电材料的性能参数 9.3.2 压电式传感器测量电路 9.3.2.1 压电式传感器的等效电路 9.3.2.2压电式传感器的测量电路 9.