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QG/ZDⅡ-T03-12-2003中国电子系统工程第二建设公司
洁净厂房
高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位:总工程师办公室
编 制: 邓 顺 志审 核: 王 开 源批 准: 侯忆二OO三年一月二十五日
目录
1、总则----------------------------------------------------------------------------------1
2、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------1
3、管道材料选择----------------------------------------------------------------------2
4、施工程序----------------------------------------------------------------------------4
5、图纸会审----------------------------------------------------------------------------5
6、工程测定----------------------------------------------------------------------------5
7、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------5
8、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------6
9、材料检查确认----------------------------------------------------------------------6
10、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------9
11、管段预制--------------------------------------------------------------------------11
12、现场配管施工--------------------------------------------------------------------13
13、压力试验--------------------------------------------------------------------------19
14、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------20
15、系统测试--------------------------------------------------------------------------21
附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24
附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26
附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27总则
本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。
气体管道的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部。
当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件,且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。
高纯气体管道的设计应符合下列要求:
a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径,气体管道最小管径不小于φ6×1mm;
b. 管道系统应尽量短;
c. 不应出现不易吹除的盲管、死角;
d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。
气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施,并用装饰板封堵。
可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米,并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》8.4安全技术措施的有关要求。
高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
高纯气体的三个主要参数
所谓高纯气体管道的洁净技术控制,主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制(即三度控制)。
气体纯度 指气体中杂质气氛的含量,通常用气体纯度的百分
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