现代材料分析方法第七部分电子光学基础学习课件.pptVIP

第三篇 电子显微分析技术 本部分的主要目的： 介绍透射电镜分析、扫描电镜分析、表面成分分析及相关技术的基本原理，了解透射电镜样品制备和分析的基本操作和步骤，掌握扫描电镜在材料研究中的应用技术。在介绍基本原理的基础上，侧重分析技术的应用！ 第七章 电子光学基础 引言 7-1 电子波与电磁透镜 7-2 电磁透镜的像差和分辨本领 7-3电磁透镜的景深和焦长 7-1 电子波与电磁透镜 光学显微镜的分辨极限 电子波的波长 电磁透镜 一、光学显微镜的分辨率 由于光波的波动性，使得由透镜各部分折射到像平面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用，产生衍射效应。一个理想的物点，经过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上形成的不再是一个像点，而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的Airy斑。如图1-1所示。 测量结果表明Airy斑的强度大约84%集中在中心亮斑上，其余分布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度比较低，一般肉眼不易分辨，只能看到中心亮斑。因此通常以Airy斑的第一暗环的半径来衡量其大小。根据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的Airy斑半径R0的表达式为： 图1-1 两个电光源成像时形成的Airy斑(a)Airy斑； (b)两个Airy斑靠近到刚好能分开的临界距离是强度的叠加 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上相应的两个物点间