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Straight-through valve Ball Valve Inline Valve Butterfly valve Variable conductance controller Leak valve 真空引入 4.4 真空引入 (1) 電引入( Electrical feedthrough ) (2) 機械引入( Mechanical feedthrough ) (3) 流體引入( Fluid feedthrough ) (4) 視窗( Window, view port ) 4.4.1 電引入 4.4.2 機械引入 1. 轉動機械引入 2. 鐵磁液體封合之機械引入 3. 線性運動之機械引入 4.4.3 流體引入 流體引入主要是焊接的問題，無電絕緣或機械動作等因素。真空技術中常使用液態氮，液體引入的焊接道必須承受高低溫的變化，因此易於出現裂痕。當液氮引入漏氣時，其處理較為麻煩，因為材料縮漲的作用，使得通入液氮時漏氣，但不易測漏，不通入液氮時似乎又是真空密封。 4.4.4 視窗 使用視窗可讓 我們由系統外面觀 察其內部情況，或 引導信號進入真空 系統內。 真空封合技術 2. 常用金屬簡介 304不銹鋼強度高，加工容易，可使用氬焊或 銀銅焊接合 (2) 無氧銅( OFHC )因為不含氧分子，所以逸氣