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Touch Panel 双面SiO2镀膜Touch Panel 产品介绍 * * Touch Panel 产品介绍 双面SiO2镀膜前准备 双面SiO2镀膜作业 双面SiO2镀膜品质缺陷 背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。 构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。F面SiO2 F面ITO层 玻璃 R面ITO R面金属层 R面ITO层 双面SiO2镀膜前准备 双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。 镀膜特殊用品介绍： 金属Mask及铜磁背板。双面SiO2镀膜前准备 金属Mask金属MASK分两种，F面金属MASK间隔条为凹状，R面金属MASK间隔条为凹状 双面SiO2镀膜前准备 金属MaskR面金属MASK F面金属MASK 双面SiO2镀膜前准备 铜磁背板铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触 双面SiO2镀膜作业 将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错） 双面SiO2镀膜作业 将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开） 双面SiO2镀膜作业 基板对位标