电镜的结构原理及其操作使用.pptVIP

扫描电镜 的结构、原理及其操作使用 一、实验目的 了解扫描电镜的工作原理及构造。 初步学习Sirion200场发射扫描电镜的操作方法。 利用二次电子像对断口形貌进行观察。 二、扫描电镜的构造 优点： 景深长、图像富有立体感； 图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而 且分辨率高； 样品制备方法简单，可动范围大，便于观察； 样品的辐照损伤及污染程度较小； 可实现多功能分析。 二、扫描电镜的构造 构成： 电子光学系统，包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等； 机械系统，包括支撑部分、样品室； 真空系统； 样品所产生信号的收集、处理和显示系统。 二、扫描电镜的构造 二、扫描电镜的构造 二、扫描电镜的构造 二、扫描电镜的构造 电子光学系统包括: 电子枪 电磁聚光镜 扫描线圈 光阑组件 二、扫描电镜的构造 电子枪 为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 常用的电子枪有三种：普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪，其性能如表1所示。 二、扫描电镜的构造 二、扫描电镜的构造 二、扫描电镜的构造 电磁聚光镜 其功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束光斑越小，其分辨率就愈高。 扫描电镜通常都有三个聚光镜，前两个是强透镜，缩小