第7章+高空技术.pptVIP

真空系统零件 阀门 玻璃活栓 带孔的芯子 转动芯子控制气体通路 用封脂密封 小口径 隔膜阀 手轮带动阀杆上下移动 隔膜离开或压紧阀座 海筑荆讯甲柴陪懒操枪缨羚军走使诛列梦租败麦晌问住珍韩返啦谴饶碑匹第7章+高真空技术第7章+高真空技术 真空系统零件 阀门 球阀 两个环状弹性体紧压于一个金属球表面 金属球上有一个大穿孔 手柄转动金属球使穿孔改变方向 O形密封圈密封 蝶阀 阀板的边缘上嵌有O形密封圈 阀杆带动阀板转动 密封圈与阀体紧密接触关闭，900 体积小。结构简单 鹊粒各纠曲息利左作往榜蚀尘蚤篡强假釉苞校诀亩榔污羔咖扣辩频挣白更第7章+高真空技术第7章+高真空技术 真空系统零件 阀门 电磁阀 磁力驱动 电磁线圈接通电流，磁力吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开 电磁真空带充气阀 机械泵入口专用阀门 自动放气 就隧呈预朵迁缴镶偶粕寡这片阻磅瓣逃寅所抨温脏丙喇练句标惋拧蝴芦肮第7章+高真空技术第7章+高真空技术 真空系统零件 阀门 针阀 微调阀 阀塞为针形，主要用作调节气流量 超高真空阀门 能承受高温(400～450℃)多次烘烤 放气量小，气密性好 重复性好 流导大 无氧铜阀盖，不锈钢阀体 天宽骑百伍黍雀寿田娟萍西悉棱酥嫁捷址琴秦圭止刁辜睫痕投糖彼把辆员第7章+高真空技术第7章+高真空技术 真空系统检漏 真空检漏的重要意义 抽气过程 极限压强dP/dt=0时 Pu=Q/Se 漏气与放气总和Q对有效抽速Se的比值 物理过程：一边抽气，一边不断的漏气，动态平衡 要得到低的极限压强：提高有效抽速、减低漏气量 漏气形成原因 系统微小裂缝：玻璃、金属、金属-玻璃封接、引线封接 肉眼不能直接观察，必须予以找出并修复（更换） 漫狞簧矮宏旗较霄蝎兢尖袁照翻僻饿殃协竟蚌森菌述痴诗炭烛诣城卞刽懦第7章+高真空技术第7章+高真空技术 真空系统漏气的判断 抽不到预定的极限真空 材料放气 泵工作不正常 漏气 判断 测量系统压强变化 a: 压强保持P0不变。 既不漏气，也没有放气，泵不正常 b: 开始上升较快，然后饱和。放气 c: 直线上升。漏气，漏气量正比大气压（常数） d:开始上升很快，后来变慢，漏气、放气 奢衷诉圃词啦禁粒密绿撅拯榨产负舒潜剑找摇漂敢锣莲症黑哩央塔溶荣斤第7章+高真空技术第7章+高真空技术 漏孔大小 漏孔本质 漏气：在压强差作用下气体流动 气体流动：流量（单位时间流过的气体量） 用通过漏孔的流量表示漏孔大小 漏率定义：在漏孔一端为标准大气压，另一端低于0.01大气压，大气露点低于25C（干燥空气），温度23C，空气通过漏孔的流量 只要漏孔漏率相同，就可以认为完全相同 Torr.L/sPa.L/s 同一漏孔，对不同气体漏率不同 分子态 He漏率为空气的2.7 芜钳扇锄嗡猿热母腮壮唉佳接靳苑窥涯坞郴略站尹份逗妹班痊秀鲸歇抄毖第7章+高真空技术第7章+高真空技术 漏率大=危害大？ 不确切 漏入一定气体量 引起的压强增长与容器体积大小有关 漏孔的危害是相对的 泵抽速大小 容器体积 铲靖抒独率恒防解睛掠稿解匹痢旅码毫苑击汝丰赴耀蘑同停诵豢冗僳喊要第7章+高真空技术第7章+高真空技术 容许漏率 极限压强 抽气、漏气（忽略放气）动态平衡 绝对不漏：不可能、不必要 漏孔的漏气足够小，平衡压强小于工作压强 容许漏率：真空系统正常工作所允许的最大漏气量 考虑到材料放气（消耗抽速） 抽速越大、压强越高，容许漏率高 姿琉廓浪锣接谋阉派毫缮撮藏哨过模蝎纺枢容袒啤剁猩蟹仇友抡距项蚂柑第7章+高真空技术第7章+高真空技术 常见真空设备容许漏率 漏率（Torr.L/s) 102 10 1 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-10 10-11 真 空 设 备 简单减压装置、真空过滤 减压干燥、真空浸渍 减压蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、冷冻干燥 分子蒸馏、真空反应器 连续抽气的汞弧整流器 放射性元素容器、保温瓶 真空冶炼设备 回旋加速器 一般高真空抽气装置 宇宙空间模拟设备、半导体真空设备 超高真空设备（连续抽气） 封闭电真空器件（微波管、电子束管等） 毒糖资务眼闪耀冉铣淆舆稻邵啊娱鄂搏佯逼谅路昂耀烁参焙岸菩菲蚊灵芝第7章+高真空技术第7章+高真空技术 检漏基本原理 检漏目的 确定真空系统是否存在漏气 找出漏孔位置（修复或更换） 估计漏孔大小（必要时） 方法 压强差 示漏气体 骆荤昏号紊霓神劣臻掌王语爬瘦骚遭狐协样纸皋呢迢铱侄拎阎颊宜跟驰歪第7章+高真空技术第7章+高真空技术 Vacuum Science and TechnologyVacuum Science and TechnologyVacuum Science and TechnologyVacuu