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- 2016-12-13 发布于贵州
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扫描隧道显微镜20世纪重大科技成果之一
关键词:扫描隧道显微镜 隧道效应 分辨率 控制电路
摘 要:扫描隧道显微镜是利用探针尖端与物质表面原子间的不同种类的局域相互作用,来测量表面原子结构和电子结构的显微新技术,它的出现被科学界誉为是表面科学和表面现象分析技术的一次革命.
扫描隧道显微镜(Scanning Tunnelins Microscopy 以下简称STM)是20世纪80年代初发展起来的一种新型显微表面研究新技术,其核心思想是利用探针尖端与物质表面原子间的不同种类的局域相互作用来测量表面原子结构和电子结构.1981年在IBM公司瑞士苏黎世实验室工作的G.宾尼希(G.Binning)和H.罗雷尔(H.Rohrer)利用针尖和表面间的隧道电流随间距变化的性质来探测表面的结构,获得了实空间的原子级分辨图象.这一发明使显微科学达到了一个新的境界,并对物理、化学、生物、材料等领域的研究产生了巨大的推动作用.为此G.宾尼希和H.罗雷尔于1986年被授予诺贝尔物理奖.
1.显微镜的历史
人类观察微小物体的历史是从放大镜开始的,然后进人光学显微镜时代.据说世界上第一台光学显微镜是荷兰的眼镜师詹森父子于1590年偶然发明的.詹森父子制造的显微镜是一支可以伸缩的管子,在它的两头各放了一片凸透镜,当管子的长短调节得合适的距离,用它可以看清很小的物体.在当时人们仅是把他制作了这种管子当作玩具,并没有用到科学研究上.直到十七世纪中叶,才真正认识到显微镜发明的科学意义,人们竞相利用显微镜观察微观世界,并给生物学带来了划时代的进步.尤其是英国物理学家罗伯特·胡克(R.Hooke 1635一1703),使用自制的显微镜观察生物,并于1665年出版了《显微镜图集》.为了提高放大率,人们必须增加透镜的数目,但随着透镜数目的增加,便遇到了透镜像差.所谓透镜的像差,就是经过透镜所成的像会产生畸变、弯曲或延展等缺陷,当放大率增大时,透镜的这些缺陷也随之扩大,物象也就变得模糊起来,这样就失去了增大放大率的真实意义.
十八世纪中叶,德国数学家欧拉(L.Euler 1707—1783)和英国光学家J·多隆特(J.Dellond 1706—1761)等人发现了用不同的玻璃制作的透镜加以组合消去色差的办法,这一发现促进了对光学玻璃的研究.到了十九世纪中叶,光学显微镜的放大率已达到l000到1500倍左右;人们发现,如果再提高显微镜的放大率,映像将变得极不清晰,这就说明光学显微镜的放大本领有一个难以超越的极限.那么,光学显微镜的性能为什么会有这个难以超越的极限呢?决定这个极限的因素是什么?德国耶拿大学的阿贝(E.Abbe 1840—1905)从波动光学的基础对显微镜的映像理论进行了分析,他认为:问题并不在于显微镜本身,而起因于作为成像媒介的光波.光线是具有一定波长的光波,光波遇到粒子会产生衍射效应.当粒子小于光的波长时,光波将绕过粒子,因而不产生粒子的阴影,我们也就看不清粒子的像.光学显微镜是用可见光来观察物体的,由于光的波动性产生的衍射效应使光学显微镜的分辨极限只能达到光波的半波长左右,确切的表达式为:(1)
其中λ为波长,α为物镜的孔径角,N为折射率,d为最小可分辨长度.显然在可见光范围内d的最小值约为0.3μm.阿贝从理论上推得,光学显微镜的分辨本领不超过2000?,这个数值与实验得到的极限值一致.由阿贝理论得知:如果利用波长更短的波来作为像的形成源,显微镜的分辨本领有可能进一步提高.
本世纪二十年代,法国物理学家德布罗意(de.Broglie 1892—1980)发现:一切微观粒子,例如:电子、质子、中子等,也具有波动性.人们把这种波称为德布罗意波.电子的德布罗意波长为:(2)
其中h为普朗克常数,电子受电场V加速获得动能,其速度为:所以当加速电压在几十千伏以上时,考虑相对论修正,则有:(3)
式中m0为电子静止质量,c为光速.当电子被100kV的电压加速时,电子的波长为0.0037nrn.显然,电子的波长比光波的波长短得多,比γ射线的波长还短.于是,人们立即想到是不是可以利用电子束来代替光波?1932年,德国年轻的研究员E·卢斯卡(E.Ruska 1906—1988)等人,第一次用电子束得到了钢网放大形成的电子像,它雄辩地证实了使用电子束可以形成与光学透镜完全无异的像,从此开始了电子显微镜的历史.显然电子显微镜的分辨本领大大高于光学显微镜.现代高分辨透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy,TEM)分辨率优于0.3nm,晶格分辨率可达0.l~0.2nm.几十年来许多分析方法和仪器相继问世,如:场离子显微镜(Field Ion Microscopy,FIM),扫描电子显微镜(Scanning Electron
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