真空系统组成与设计基础..ppt

(7)保证真空系统元件壳体和真空室壳体有足够强度。实验表明真空容器采用圆形结构较好。端盖采用凸形结构为好。 (8)由外部进入真空室内的转动件或移动件,要保证可靠的动密封。除了选择好的密封结构外,其中的轴或杆一定要满足粗糙度要求。更要防止在轴和杆上有轴向划痕,这种划痕会降低真空度,而且不易发现。 (9)真空系统上测量规管座位置安排应遵循如下原则： 不能将测量规管放在密封面较多的地方。因为每一个密封面都不可能保证绝对不漏气,密封面集中之处,必然是容易漏气的地方,测量值可能不准。 规管内壁各处,必须保证真空卫生。否则会造成测量不准。 规管应尽量接在靠近被测量的地方,以减少测量误差。 (10)真空室壳体上的水套结构,要保证水流畅通无阻。更不能出现死水造成局部过热。因此进出水管位置要一下一上,且设置流水隔层,使水沿一定路线流动。 (11) 真空元件相互联接时，应尽量做到抽气管路短，流导大，导管直径一般不小于泵口直径，这是系统设计的一条重要原则。但同时要考虑到安装和检修方便。有时为了防振和减少噪音，可以将机械泵设置在靠近真空室的泵房内。 (12)机械泵(包括罗茨泵)有振动,为隔离振动，通常采用软管减振。软管有金属和非金属两种，均需保证在大气压力作用下不被压瘪。 (13)真空系统应便于测量与检漏。为了迅速找到漏孔，要进行分段检漏，因此每一个用阀门封闭的区间，至少要有一个测量点