Silvaco TCAD仿真流程及语法规则幻灯片.pptVIP

Page ? * 0主要内容 第一部分 仿真流程 第二部分 语法规则 第三部分 语法学习及书写建议 Page ? * 1 仿真流程 第一部分 仿真流程 第二部分 语法规则 第三部分 语法学习及书写建议 TCAD仿真流程 1.1 仿真流程 Page ? * 工艺仿真流程 器件仿真流程 电路仿真流程 1.2.1 输入命令 输入命令流 Page ? * go athena line x loc=0 spac=0.1 line x loc=1 spac=0.1 line y loc=0 spac=0.02 line y loc=10 spac=0.2 init c.phos=2e13 oreit=111 two.d tonyplot 1.2.2 程序运行 命令逐行运行 实时运算信息 Page ? * 1.2.3 输出结果 实时输出 结构文件 *.str 日志文件 *.log 提取的数据 *.dat Page ? * 1.2.4 结果分析 Tonyplot显示（Display）和分析（Tools） Tonyplot导出数据 查看实时输出 Page ? * Page ? * 2 语法规则 第一部分 第二部分 仿真流程 第三部分 语法学习及书写建议 语法规则 2.1 通用格式 通用格式，由command和parameter组成 “n”为数值型参数，如“10” “c”为字符串参数，如“silicon” “|”表示从中括号中的参数选其1 Page ? * command parameter1=n parameter2=c [ parameter3 | parameter4 ] go athena diffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2 solve vgate=0.1 例子： 2.2 语法规则 命令可以简写，以不与其他简写相冲突为原则，如“deposit”可以用“depo”取代 不区分大小写 命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开 一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“\”(注意“\”前需留有空格)，则下一行和该行将被视为同一个命令 “#”进行注释 空行不运行 Page ? * 参数类型 参数命名 单属性：完整单词或缩写，diffuse, left, material, xj 多属性参数：单词的连接，2d.max.conc, temp.val, c.phos 2.3 参数规则 Parameter Description Value Required Example Character Any character string Yes material=silicon Integer Any whole number Yes region=1 Logical A true or false condition No gaussian Real Any real number Yes x.min=0.1 Page ? * 2.4 目录结构 Page ? * 可执行程序的快捷方式 组件库 二维工艺仿真器 版本号 模型文件、模板、材料参数等 用户手册及组件更新的说明文档 各版本的新特性说明文档 可执行程序 二维器件仿真器 示例库 一维工艺仿真的子示例库 ?????? ?????? 2.5 文件类型 输入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真输入文件） 结构文件“*.str”（工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构） 器件仿真结果文件“*.log”（器件仿真时存储仿真结果） 设置文件“*.set”（Tonyplot的显示设置） 掩膜结构文件“*.lay”（光刻的掩膜信息） 提取的结果文件“*.dat”（提取得到的数据） “*.lib”（C－编译器编写的函数文件） 其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”，… Page ? * Page ? * 3 语法学习及书写建议 第一部分 第二部分 语法规则 第三部分 语法学习及书写建议 仿真流程 3.1 语法学习 学习资料 程序自带的EXAMPLE： EXAMPLE路径，X:\ sedatools\ examples\... 用户手册： ATHENA手册位置：X:\sedatools\lib\Athena\version_number .R \ docs\athena_users1.pdf SILVACO官方网站 SILVACO中国 Page ? * 3.2 语法书写建议 添加注释、分成多行及空行 变参数仿真可用“set” 活用“Ctrl＋C”和“Ctrl＋V” Page ? * 增强可读性，便于查找和修改 3.3 Silvaco TCAD学习建议 电脑以及仿真程序始终只是工具，真正的发现还是来自于实践，