2014郑州轻工业学院薄膜试卷B..docVIP

《薄膜技术与薄膜材料》课程期末试卷（B） 题号 一 二 三 四 总分 得分 选择 题号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 得分 评卷人 答案 一．选择题（每题 2 分，共 20 分）（请把答案填在上方题卡中） 1. 下面哪种真空泵不属于气体输运泵：（ ） (A) 旋片式机械泵　 (B) 复合分子泵 (C) 罗茨泵 (D) 吸附泵 普通三极型电离真空计的工作范围是：( ) (A) 102 ~10-1Pa　　　 　(B) 105 ~10-2Pa　　 (C) 103 ~10-1Pa　　 (D) 10-6 ~10-1Pa　　 下面关于电镀的描述哪一项不正确：（ ） (A) 只适用于在导电的基片上沉积金属和合金 (B) 被镀基体金属为阳极 (C) 薄膜材料在电解液中是以正离子的形式存在 (D) 沉积物的质量遵从法拉第定律 4. 目前制备单分子膜沉积技术的是：（ ） (A) 电镀　　　 　 (B) 阳极氧化 (C) 化学镀 (D) LB技术 5. 完成化学镀的过程有三种方式，其中下面哪种不是：（ ） (A) 置换沉积　　　 (B) 接触沉积 (C) 还原沉积 (D) 氧化沉积 6.下面哪种选项不属于电阻加热蒸发法的缺点:( ) (A) 支撑坩埚及材料与蒸发物反应 (B) 蒸发率高 (C) 加热时合金或化合物会分解 (D) 难以获得足够高的温度，可蒸发材料受到限制 外延沉积技术对衬底的要求不合理的是：（ ） (A) 在沉积温度下容易发生热分解 (B) 不受外延材料及蒸气的侵蚀 (C) 和外延材料有相近的热膨胀系数 (D) 晶格类型和晶格常数与外延材料匹配 直流辉光放电伏安特性曲线中，溅射所选择的工作区域是：（ ） (A) 汤森放电区　　 　 (B) 正常辉光放电区 (C) 异常辉光放电区 (D) 弧光放电区 9. 各种溅射的基础条件是气氛和（ ） (A) 高压　　　 　(B) 真空度 (C) 低压 (D) 溅射率 微量天平法实际上测量的是：（ ） (A) 质量膜厚　　　 　(B) 形状膜厚 (C) 物性膜厚 (D) 表面膜厚 得分 评卷人 二、填空题（每空1分，共20分） 1. 典型的真空系统应包括：______________ ， ______________和______________及一些必要的管道阀门等。 2. X射线衍射法中随分析样品的不同可分为适合单晶的______________，适合粉末材料和薄膜的______________及适合粉体材料的粉末法。 3. 薄膜应力是薄膜重要的力学性质，它对薄膜的实际应用影响很大，它可以分为______________和______________。 4. 电子衍射图案对于单晶衍射为______________ ，精细多晶为______________，大晶 粒多晶且包含织构为 ______________。 5. 岛状薄膜的形成过程可分为四个主要阶段，分别为______________，______________，______________，______________。 6. 溶胶是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在 之间。 在离子镀膜成膜过程中，同时存在______________ 和 ______________，只有当前者超过后者时，才能发生薄膜的沉积。 纳米薄膜按结构可以分为：______________ ， ______________和______________。 得分 评卷人 三、简答题（每小题5分，共40分） 1. 什么是化学气相沉积？有哪些常见类型？ 2. 要得到质量较好的沉积膜，基体应满足什么条件？ 什么是离子镀？离子镀膜可以分为哪些类别？ 简述扫描电镜的工作原理。 5. 简述薄膜形成与生长的物理过程。 6.简述等离子体化学气相沉积中等离子体的作用是什么？ 7. 何为有机金属化学气相沉积？对原料的要求是什么？ 红外吸收和拉曼散射的原因是什么？为什么某些分子振动队红外吸收