HJL真空镀铝的原理-张方荣分析.ppt

Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 真空镀铝原理过程概述 真空镀铝机的结构组成 真空镀铝原理及方法 二次镀膜过程流程 镀铝参数的调整规律 镀铝机的操作 1 真空镀铝机的结构组成 真空镀铝机由机械泵、罗茨泵、扩散泵、真空室和镀膜系统五部分组成。其中扩散泵主要部件有：泵体、加热器、扩散泵油、导流管、挡油帽、冷却水管、挡油片等组成。(扩散泵结构图如图1) 挡油帽 挡油片 冷却水管 导流管 扩散泵油 加热器 图1 扩散泵结构图 2 真空镀铝原理及方法 将需要镀铝的产品放入真空室中，依次开机械泵、罗茨泵、扩散泵抽真空，使真空