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3 、速度、加速度传感器 主要类型有： 1）直流测速发电机 2）光电式速度传感器 3）差动变压器式速度传感器 4）加速度传感器 测速发电机的结构有多种，但原理基本相同。下图所示为永磁式测速发电机原理电路图。 永磁式测速机的原理图 直流测速机的输出特性 1）直流测速发电机 直流测速发电机在机电控制系统中，主要用作测速和校正元件。在使用中，为了提高检测灵敏度，尽可能把它直接连接到电机轴上。有的电机本身就已安装了测速发电机。 恒定磁通由定子产生，当转子在磁场中旋转时，电枢绕组中即产生交变的电势，经换向器和电刷转换成正比的直流电势。 2）光电式转速传感器 光电式转速传感器的结构原理图 一种角位移传感器,由装在被测轴(或与被测轴相连接的输入轴)上的带缝隙圆盘、光源、光电器件和指示缝隙盘组成。 根据测量单位时间内的脉冲数N,则可测出转速为 一般取Zt=60×10m(m＝0,1,2,…)。利用两组缝隙间距W相同,位置相差（i／2+1／4 ）W（i＝0,1,2,…） 的指示缝隙和两个光电器件,就可辨别出圆盘的旋转方向。  Z——圆盘上的缝隙数；  n——转速(r／min)；  t——测量时间(s)。 3）加速度传感器 作为加速度检测元件的加速度传感器有多种形式，它们的工作原理大多是利用惯性质量受加速度所产生的惯性力而造成的各种物理效应，进一步转化成电量，来间接度量被测加速度。最常用的有应变片式和压电式等。 a）应变片式加速度传感器 电阻应变式加速度计结构原理如下图所示。它由重块、悬臂梁、应变片和阻尼液体等构成。当有加速度时，重块受力，悬臂梁弯曲，按梁上固定的应变片之变形便可测出力的大小，在已知质量的情况下即可计算出被测加速度。壳体内灌满的粘性液体作为阻尼之用。这一系统的固有频率可以做得很低。 b）压电式加速度传感器 压电加速度传感器结构原理如右图所示。使用时，传感器固定在被测物体上，感受该物体的振动，惯性质量块产生惯性力，使压电元件产生变形。压电元件产生的变形和由此产生的电荷与加速度成正比。 压电加速度传感器可以做得很小，重量很轻，故对被测机构的影响就小。压电加速度传感器的频率范围广、动态范围宽、灵敏度高、应用较为广泛。 4 、力、扭矩传感器 主要类型有： 1）柱式弹性元件 2）悬臂梁式弹性元件 1）柱式弹性元件 柱式弹性元件有圆柱形、圆筒形等几种。如下图所示。这种弹性元件结构简单、承载能力大，主要用于中等载荷和大载荷（可达数兆牛顿）的拉(压)力传感器。 2. 悬臂梁式弹性元件 其特点是结构简单、加工方便、应变片粘贴容易、灵敏度较高。主要用于小载荷、高精度的拉、压力传感器中。可测量0.01牛顿到几千牛顿的拉、压力。 在同一截面正反两面粘贴应变片，并应在该截面中性轴的对称表面上。若梁的自由端有一被测力P，则应变与P力的关系为： 5 、其他传感器 集成温度传感器 高分子材料湿度传感器 超声波传感器 霍尔传感器 。。。。。。 第三章 机电一体化系统检测技术 霍尔效应的产生是由于运动电荷受磁场中洛伦兹力作用的结果 当电流垂直于外磁场通过导体时，在导体的垂直于磁场和电流方向的两个端面之间会出现电势差，这一现象便是霍尔效应。 霍尔式传感器是一种基于霍尔效应的磁电转换器，其转换元件是霍尔元件，一般由锗（Ge）、锑化铟（InSb）、砷化铟（InAs）等半导体材料制成。(半导体的霍尔效应比金属强得多) 右图表示用霍尔元件测量位移的实例。将霍尔元件置于两个相邻而方向相反的磁场内，由于每点磁感应强度值不同，当元件沿方向移动时，可由霍尔电势的变化反映出位移量x大小。 6、传感器前级信号处理与接口技术 测量放大器原理图 1）前级信号处理 程控增益放大器 程控增益放大器原理图 284型隔离放大器的电路结构图 隔离放大器 2）接口技术 传感器信号的采样/保持 采样/保持原理 LF398的原理图 AD7506的外引脚图和原理图 多通道模拟信号输入 7、数字滤波 数字滤波实质上是一种程序滤波，与模拟滤波相比具有如下优点： ①不需要额外的硬件设备，不存在阻抗匹配问题，可以使多个输入通道共用一套数字滤波程序，从而降低了仪器的硬件成本。 ②可以对频率很低或很高的信号实现滤波。 ③可以根据信号的不同而采用不同的滤波方法或滤波参数，灵活、方便、功能强。 7、数字滤波 数字滤波实质上是一种程序滤波，与模拟滤波相比具有如下优点： ①不需要额外的硬件设备，不存在阻抗匹配问题，可以使多个输入通道共用一套数字滤波