第4章 压力及真空度检测仪表-电容式幻灯片.ppt

measurementprocess control technology Kunming University of Science and Technology Department of Automation Engineering, Informational facultySpring 2010 昆明理工大学信自学院 第4章 压力及真空度的检测 4.1、电容式传感器工作原理及类型 4.2、电容传感器的测量电路分析 4.3、电容传感器的误差分析 第4章 压力及真空度的检测 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.1、基本原理 4.1.2、传感器类型及特点 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.1、基本原理 电容器的基本原理可以分以下两种情况： （1）平行板电容器的工作原理 用两块金属平行板作电极，可构成最简单的平行板电容器，如图所示，当忽略边缘效应时，其电容量C 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.1、基本原理 （1）平行板电容器的工作原理 （2）同轴圆柱形电容器 由两个同心圆柱状极板 构成同轴圆柱状电容器 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.1、基本原理 （2）同轴圆柱形电容器 由平行板电容工作原理可知，在 三个参数中保持其中两个不变，改变另一个参数就可以使电容C改变。所以一般电容式传感器，可分为以下三种类型。 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 如图所示，可以通过角位移 或直线位移 的变化来改变 两极板之间的覆盖 面积S 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 （1）角位移 改变一个 角，则 （线性关系） 其中 （即 为 初始电容量） （2）直线位移 当其中一极板移动距离x时， 则 (线性关系） 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 （2）直线位移 其中： 特点： ?上述电容 与角位移 ， 与直线位移x 均呈线性关系。 ?上述电容器灵敏度K 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 特点： ?变化位移量（x或 ）不能太大，否则会产生非线性特性的边缘效应，因为边缘电场分布不均匀的原故。 ?上述电容器，多数用来检测位移等参数。 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （1）平行板电容器 如图所示，此电容器 相当于两个电容 和 相串 联。其中 为两极板间两种介质 的厚度。 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （1）平行板电容器 由此可见：在 和 （一般为空气介电常数）不变的情况下，变化 时，则电容器发生变化，可用作介质介电常数测量仪。反之， 不变时，改变 则用作测厚仪使用。 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （2）同轴圆柱状电容器 如图所示，总电容器相当于 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （2）同轴圆柱状电容器 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 如图所示，其中定板1和动板2 当动板2移动，改变间距 ， 从而改变了电容量C 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 当变化一个 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 结论： ?上述表明:在 ?非线性误差 ?灵敏度： 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型