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奈米材料的制程及其潜在的应用 文/李思毅、李佳颖、曾俊元 在著名的物理学家费曼(Richard P. Feynman)对未来的诠释下“There’s plenty of room at the bottom.“，我们所能明了与确切掌握的世界不断的向前延伸。近年来，诸多领域随着科学技术的进展而突飞猛进，借着向下缩减(Top down)与向上组装(Bottom up)两个主要制作技术的相辅相成，导致诸如电子、材料、物理、化学、生物等领域的发展，急剧地迈入了奈米世纪，向更深远的原子领域边缘前进，几个重大突破性的相关研究，更使得奈米技术在二十一世纪独领风骚。现今的奈米技术跳脱了传统的单调制程技术演进过程，迈入了要知道如何操控与讲求精确的需求，这样的进展，值得我们充分的了解。在本文中，我们将对于奈米制程技术的演进过程加以叙述，包括零维、一维、二维结构及材料，并介绍他们的特性及可能的应用。 一、前言 最初期的材料制作方式是一种从上而下的过程，亦即是一种由大至小的缩减过程，这样的过程以半导体制程的演进为例最具代表性。最初的组件尺寸，在发明初期可以拥有公分级的尺度，接着迅速的缩减至数十微米的范围，此后，随着摩尔定律的预测，进行尺寸缩减而制程复杂度也随之增加。直至现今，这样的制作过程已经面临了很大的瓶颈需要突破，在后摩尔定律时代，商业应用的组件尺寸在65奈米后遭致极大的制程挑战。因此