空气洁净原理.pptVIP

洁净室技术发展 第一阶段，朝鲜战争中美国发现其大量电子仪器失灵出故障。最终，美军找到了主要原因是灰尘作怪，这促成了空气洁净技术的起步，特别是高效过滤器的诞生。 第二阶段，１９５７年前苏联第一颗人造卫星上天后，刺激美国加速发展宇航事业，带动洁净室技术和设备的大发展，出现了层流技术和百级洁净室，出现了第一个洁净室标准。 第三阶段，１９７０年１Ｋ位的集成电路进入大生产时期，中国不久也开始集成电路会战，使洁净室技术得以腾飞。这还和药品生产对洁净室的需求进入新阶段有关，因为１９６９年世界卫生组织正式制订了ＧＭＰ（药品生产质量管理规范）。 第四阶段，２０世纪８０年代大规模和超大规模集成电路的发展进一步促进空气洁净技术的发展。 第五阶段，即２０世纪９０年代之后。超大规模集成电路生产取得了新发展。 洁净室环境监测状态 空态： 洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但是没有生产设备、原材料或人员的状态。 静态 静态a：洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装、洁净室（区）内没有生产人员的状态。 静态b：洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。 动态：洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。 洁净室的控制参数 1 悬浮离子和微生物：主