第3章-电容式传感器解说.ppt

第三章　电容式传感器 §1 电容传感器的工作原理和结构 分类 三、电容式位移传感器的结构形式： 结构形式二 电容传感器分类比较 §4.4电容传感器的测量电路 §4-6 电容式集成传感器 运用集成电路工艺可以把电容敏感元件与测量电路制作在一起，构成电容式集成传感器，它的核心部件是一个对被测量敏感的集成电容器。 加速度集成电容传感器 这是一种基于多晶硅表面微加工技术的加速度电容传感器 。 压力集成电容传感器 这是采用硅腐蚀技术、硅和玻璃的静电键合以及常规集成电路工艺技术制造的集成电容传感器。 总结 §3.4 电容传感器应用 电容传感器由于检测头结构简单，可以不用有机材料和磁性材料构成。所以它能经受相当大的温度变化及各种辐射作用，因而可以在温度变化大、有各种辐射等恶劣环境下工作。电容传感器可以制成非接触式测量器，响应时间短，适合于在线和动态测量。电容传感器具有高灵敏度． 因此，电容传感器近年来甚被重视，它广泛地被应用在厚度、位移、压力、速度、浓度、物位等物理量测量中。下面举例来说明电容传感器的应用情况。 一、电容式气体压力传感器： 二、电容式加速度传惑器： 1一固定电极，2一绝缘垫；3一质量块；4一弹簧；5一输出端：6一壳体 三、荷重传感器 四、液位传感器： 五、电容式振动传感器 六、由差动式电容测厚传感器构建检测厚仪 ： 电容式测厚仪的关键部件之一就是电容测厚传感器。在板材轧制过程中由它监测金属板材的厚度变化情况，该厚度量的变化现阶段常采用独立双电容测厚传感器来检测。它能克服两电容并联或串联式传感器的缺点。应用独立双电容传感器，通过对被测板材在同一位置、同一时刻实时取样能使其测量精度大大提高。独立双电容测厚传感器一般分为运算型电容传感器和频率变换型电容传感器两种。前者对0．5—1.0mm厚度的簿钢板进行测量，其测量误差小于20 ；后者其测量误差小于0.3 。 图3—11所示为频率型差动式电容测厚传感器系统组成框图： 图3—11 频率变换型的测厚系统组成框图 变换振荡器的等效电路为： 将被测电容 ， 作为各变换振荡器的回路电容，振荡器的其他参数为固定值，其等效电路上图所示。图中 为耦合和寄生电容．振荡频率f为： 则有： 式中： ——极板间的介质的相对介电常数； A——极板面积； ——极板间的距离； ——待测电容器的电容量 所以： 设两传感器极板距离固定为 ，若在同一时刻分别测得上、下极板与金属板材上、下表面距离 、 ，则被测金属板材的厚度。 由此可见，振荡频率包含了电容传感器的间距的信息。各频率值通过自取样计数器(可采用16位快速同步计数器取样)获得数字量，然后由微机进行函数处理，消除非线性频率变换产生的误差、无需A／D转换，也无需用先进的非线性变换，就可获得误差极小的板材厚度。因此，频率变换型电容测厚系统得到广泛使用。 * * 电容测量技术近几年来有很大进展，它不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且，还逐步扩大应用于压力、差压、液面、成分含量等方面的测量 。 优点： 结构简单，体积小，分辨率高，可非接触测量等。 缺点：存在分布电容、引线电容、非线性。 §1 电容传感器的工作原理和结构 §2 电容传感器的输出特性 §3 电容传感器的等效电路 §4 电容传感器的测量电路 §5 电容传感器的应用 目 录 一、基本工作原理 ： 电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。多数场合下，电容是由两个金属平行板组成并且以空气为介质，如图3—1所示。 变极距型—变极板间距 d 变面积型—变极板面积 A 变介电常数型—介质变化 平行板电容器的电容量为： （3-1） 式中 ——电容极板问介质的介电常数 A——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离； 二、变极距型电容式传感器 由式(3—1)可知，电容量C与极板距离d不是线性关系，而是如图3—2所示的双曲线关系。若电容器极板距离由初始值 缩小 ，极板距离分别为 和 其电容量分别为 和 即： (3—2)