计算机显微视觉伺服控制微装配系统关键技术研究.docVIP

摘要微器件装配技术是微机电系统(MEMS)研究的核心内容和热点课题，具有广泛应用前景和重要研究意义。鉴于此，本文针对计算机视觉伺服微装配系统关键技术进行了深入研究。 ????分析了当前微器件装配技术国内外现状，掌握了微器件装配技术发展动态。结合现有研究基础，实现了对微装配系统中关键技术的改进。 ????提出了一种新型三维整体式双柔性微定位工作台设计方法，采用FEM方法进行仿真分析，有效地减小了耦合微位移影响。分析了压电陶瓷迟滞特性和动态特性，采用模糊PI控制方法进行闭环补偿，实验表明微定位工作台的位移分辨率优于0.04μm。 ????设计研制了微夹持平台和SMA微夹持手的集成式微夹持系统。采用FEM 方法进行仿真分析，结果表明微夹持平台在X、Y和Z方向的行程分别为9.0μm、9.3μm和13.5μm，位移分辨率达到0.1μm；微夹持手采用U型SMA结构进行驱动，分析了设计原理，设计了结构参数，计算了夹持过程耦合微位移。实验结果表明微夹持手的最大开合量为500μm，满足微器件操作与装配要求。 ????采用图像边缘特征的粗／精结合调焦方法，实现图像目标自动调焦。利用了小波尺度归一化模极大值边缘检测方法，精度达到1个像素。提出了基于最优双正交Gabor小波矩不变量特征提取的图像识别方法，对具有旋转、平移、尺度变换特性的图像进行识别，实验表明识别定位误差小于±1.0％。 ????构建了显微图像视觉伺服控制器，采用基于单尺度径向基小波框架神经网络非线性视觉映射模型，将图像特征空间与微夹持器运动空间紧密联系起来。实验表明该方法可减小伺服跟踪误差和计算量，避免了图像雅克比矩阵复杂求逆计算。 ????建立显微视觉单元标定模型，进行矩形微器件装配实验。实验表明微装配系统的定位精度可达±4μm，垂直装配分辨率可达0.4μm。 关键词：微装配；机器视觉；微夹持器；微定位工作台；图像处理??目录 ? ??第1章 ?引言 ??1.1 ?选题背景及意义 ??1.2 ?微装配研究现状及发展趋势 ??1.2.1 ?国外研究现状 ??1.2.2 ?国外典型装配方法应用 ??1.2.3 ?国内研究现状 ??1.2.4 ?发展趋势 ??1.3 ?课题来源及主要研究内容 ??1.3.1 ?课题来源 ??1.3.2 ?论文结构安排 ??1.4 ?本章小结 ??第2章 ?微装配系统总体方案 ??2.1 ?微装配技术特点及功能分析 ??2.2 ?系统总体方案 ??2.2.1 ?系统设计因素 ??2.2.2 ?微装配系统组成 ??2.3 ?本章小节 ??第3章 ?微定位工作台设计与实验研究 ??3.1 ?双柔性微定位工作台有限元设计 ??3.1.1 ?结构参数设计 ??3.1.2 ?柔性铰链结构有限元分析 ??3.1.3 ?工作台有限元分析与设计 ??3.2 ?压电陶瓷驱动器控制研究 ??3.2.1 ?PZT驱动器迟滞特性 ??3.2.2 ?PZT驱动器动态特性 ??3.3 ?微定位工作台实验分析 ??3.3.1 ?静态特性实验 ??3.3.2 ?位移耦合实验 ??3.3.3 ?闭环控制实验 ??3.4 ?本章小节 ??第4章 ?微装配夹持系统设计与实验研究 ??4.1 ?集成式微夹持器总设计思想 ??4.2 ?微夹持平台有限元设计 ??4.3 ?SMA微夹持手结构设计 ??4.3.1 ?结构参数计算 ??4.3.2 ?耦合位移计算 ??4.4 ?SMA微夹持手有限元热分析 ??4.5 ?SMA微夹持手驱动控制分析 ??4.6 ?微夹持系统实验分析 ??4.6.1 ?微夹持平台静态特性实验 ??4.6.2 ?SMA微夹持手实验分析 ??4.7 ?本章小节 ??第5章 ?显微图像目标识别技术研究 ??5.1 ?自动调焦研究 ??5.1.1 ?自动调焦系统组成 ??5.1.2 ?调焦评价函数 ??5.1.3 ?Krisch图像边缘梯度粗调焦方法 ??5.1.4 ?基于图像高频分量精调焦分析 ??5.1.5 ?自动调焦精度分析 ??5.2 ?图像去噪技术 ??5.3 ?显微图像边缘检测方法 ??5.3.1 ?小波多尺度边缘检测 ??5.3.2 ?小波尺度归一化 ??5.3.3 ?边缘检测实验 ??5.4 ?显微图像目标识别技术 ??5.4.1 ?最优Gabor小波函数选取 ??5.4.2 ?Gabor小波矩构造 ??5.4.3 ?Gabor小波矩不变量特征提取 ??5.5 ?本章小节 ??第6章 ?微装配显微视觉伺服控制研究 ?