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小功率气体激光器软开关电源的研究 王 涛（指导老师：江超） （湖北师范学院物理与电子科学学院，0504班，湖北黄石，435002） 摘 要: 本文研制了小功率气体激光器的电源系统，电源采用高频变流技术设计，主回路为串联谐振负载并联输出的方式。对谐振参数进行了选择，对脉冲产生与驱动电路进行了设计。为了实现激光器工作方式的多样化及激光器功率的精确控制，设计了有效的调制电路；同时为了适应气体激光器的工作特性，设计了可靠的预燃电路。实验结果表明：电源工作在谐振状态，实现了过零开关，减少了开关损耗，提高了电源效率；实现了对激光器工作方式和功率的调节，满足了激光器工作的要求。 关键词：小功率气体激光器; 高频变换技术; 软开关电源; 调制技术 中图分类号：TN248 文献标识码：A Study on Soft-Switching Power Supply for Small-Power Gas Laser WANG Tao (Tutor: JIANG Chao) （College of Physics and Electronic Science，Hubei Normal University，Hubei Huangshi, 435002） Abstract: In the paper, a laser power supply system is manufactured by high-frequency converting technique with series-resonant power stage and parallel-load output. Choosing the parameters of the resonance, the generating and the driving pulse circuit are designed. In order to realize the many operation-modes of laser and to control accurately the laser power, the effective modulation circuit is given. In addition, in order to adapt the operation characteristic of gas laser, the credible pre-discharge is also designed. The experimental results indicate that the power supply operates in resonant condition, realizing the zero current and zero voltage switching, reducing the loss of switching, enhancing the efficiency of the power supply. The modulation circuit can modulate the output of the power supply in resonant state, adjusting the operation-modes of laser, satisfying the demand of the laser operation. Key words: small-power gas laser; high frequency converting technique; soft switching power supply; modulation technique 0 引言 全金属结构小功率气体激光器具有光束质量好，输出功率稳定性高，可靠性强和使用寿命长等优点。在工业加工方面，它具有大功率激光器所没有的特点，占据有一定的地位。随着全金属结构小功率气体激光器的广泛应用，对激光器的电源系统也不断提出新的要求。不但要求体积小、重量轻、高效节能；更重要的是频率响应高、反应速度快、易于和电脑衔接。同时还必须能够满足气体激光器的一些特殊要求。气体激光器一般工作在辉光放电状态，是一种非线性负载且一般呈负阻特性[1]。气体放电时，击穿电压很高，维持正常放电的电压要低些，一般击穿电压是维持电压的几倍。激光器正常运行时具有高电压、小电流的特点。这些特点对激光器电源提出了更高的要求。本文研制了一款高频激励 (连续/脉冲) 放电激光器电源，电源逆变频率达200kHz，调制频率为0-10kHz。它的成功研制为全金属小功率气体激光器性能进一步改善提供了有效手段。 1 主回路的设计 电源由逆变主回路、控制电路和驱动电路三大部分组织。图1为电源的