第17章波动光学(一)第五版课题.ppt

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第十七章 波动光学 一、光的干涉 1. 光源 复色光:不同频率单色光的混合光称为复色光。解 : 1.讨论干涉条纹的移动,可跟踪屏幕上某一条纹(如零级亮条纹), 研究它的移动也就能了解干涉条纹的整体移动情况.2.按题义,条纹上移20条,P0处现在出现第20级亮条纹,因而有1. 光 程 …… 2.3 劈尖干涉条纹的特征 (1)明、暗条纹处的膜厚: 一系列明暗相间的、平行于棱边的平直条纹。 劈 尖 膜 2.3 劈尖干涉条纹的特征 (2)相邻明纹(或暗纹)所对应的薄膜厚度之差e = ek+1-ek = (2k+1)?/4n - (2k-1)?/4n = ?/2n 相邻明纹(或暗纹)所对应的薄膜厚度之差相同。 e k ek+1 ?e ? 明纹 暗纹 劈 尖 膜 2.3 劈尖干涉条纹的特征 (3)两相邻明纹(或暗纹)的间距 结论:a.条纹等间距分布b.夹角?越小,条纹越疏;反之则密。如?过大,条纹将密集到难以分辨,就观察不到干涉条纹了。 l= ?e/sin ? ≈ ?e/≈ ?/2n? ? l ?e 明纹 暗纹 L ?e ? 劈 尖 膜 2.3 劈尖干涉条纹的特征劈尖干涉条纹是一系列明暗相间的、等间距分布的、平行于棱边的平直条纹。 劈尖干涉条纹 劈 尖 膜 例1 在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,已知SiO2 的折射率n =1.46,用波长? =5893埃的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M处,Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解:由暗纹条件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2k+1)? /2 (k=0,1,2…) 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 劈 尖 膜 例2 为了测量金属细丝的直径,把金属丝夹在两块平玻璃之间,形成劈尖,如图所示,如用单色光垂直照射 ,就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距,就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为:单色光的波长? =589.3nm金属丝与劈间顶点间的距离L=28.880mm,30条明纹间得距离为4.295mm,求金属丝的直径D?L D 劈 尖 膜 解 相邻两条明纹间的间距其间空气层的厚度相差为?/2于是 其中?为劈间尖的交角,因为? 很小,所以代入数据得劈 尖 膜 . S 分束镜M 显微镜 o 牛顿环 装置简图 平凸透镜 平面玻璃牛顿环:一束单色平行光垂直照射到此装置上时,所呈现的等厚 条纹是一组以接触点O为 中心的同心圆环。 牛顿环光程差的计算 牛顿环干涉条纹的特征 牛顿环的应用 3.牛顿环 3.1 牛顿环实验装置及光路 3.2 反射光光程差的计算 ? = 2e + ? /2 e A 牛顿环 1 2 3.3 牛顿环干涉条纹的特征 (1) 明暗条纹的判据 r R e 0 由几何关系可知 (R – e)2+r2=R2 R2 - 2Re + e2 + r2=R2 e = r2/2R 牛顿环 3.3 牛顿环干涉条纹的特征 k=0,r =0中心是暗斑 …… 牛顿环干涉条纹是一系列明暗相间的同心圆环。 牛顿环 3.3 牛顿环干涉条纹的特征 (2) 相邻暗环的间距 内疏外密 牛顿环 3.3 牛顿环干涉条纹的特征牛顿环干涉是一系列明暗相间的、内疏外密的同心圆环。 牛顿环 4. 劈尖干涉的应用 4.1 依据: 测表面不平度 测波长:已知θ、n,测l可得λ 测折射率:已知θ、λ,测l可得n 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 等厚条纹 待测工件 平晶 劈尖应用 4.2 应用: 5.1 依据: 公式 测透镜球面的半径R :已知?, 测 m、rk+m、rk,可得R 。 测波长λ:已知R,测出m 、 rk+m、rk,可得λ。 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? 5. 牛顿环的应用 5.2 应用: 例3 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路, 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃,使其间形成空气劈形膜,用单色光照射玻璃表面,并在显微镜下观察到干涉条纹, a b ?h b a ?h ek-1 ek 如图所示,试根据干涉条纹的弯曲方向,判断工件表面是凹的还是凸的;并证明凹凸深度可用下式求得 : 等厚干涉条纹 解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹,现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此,可判断工件表面是下凹的,如图所示。由图中相似直角三角形可:所以: a b ?h b a ?h ek-1 ek 等厚干涉条纹 1

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