第10章 Cell段工艺.doc

第十章CELL工序 10.1定向工序 10.1.1定向工序的目的 液晶分子本身有彼此相互平行排列的趋势，但是在畴与畴之间它们的取向却不尽相同。在注入液晶盒以后，只有在玻璃内表面经过了一定的表面处理之后，盒内的液晶分子才会形成取向一致的畴，或者有了统一的取向，或者有了不统一的设计取向。表面取向层的第二个作用是使注入的液晶分子在衬底的表面处有一定的预倾角度。在扭曲液晶显示中，预倾角大约在1度，它的作用是防止在外电场的作用下液晶分子向两个相反的方向发生偏转，即所谓的反倾斜。在超扭曲液晶显示中，它的作用还包括防止带状畴的发生。预倾角的大小与扭曲角度的大小有关，可以为2~8度，甚至10度以上。一般扭曲角度越大，预倾角也越大。实际上在不同的液晶显示方式要求有不同的表面取向处理方法。 10.1.2定向工艺的基本原理 TFT定向工艺根据主要功能，通常分为两个部：PI成膜和摩擦两部分。PI成膜部分主要目的是在CF或者TFT玻璃基板之上均匀的形成一层特定图案的PI膜；而摩擦部分功能则在于，使得这一层PI膜具有统一的取向和预倾角。这每部分都有更细的功能划分，如下图所示： 10.1.3定向的设备构成和主要性能指标 根据以上的基本介绍，在本节内容中我们将对每个功能块的设备分别介绍。 10.1.3.1 PI前清洗 PI前清洗的作用就是对需要印刷的基板进行事先的清洗，以保证在印刷时的良好