第二章TEM原理与结构new全解.pptVIP

 第二章透射电镜的结构与成像原理 电子光学系统 真空系统 供电系统 电镜的组成（二） 1、磁透镜的汇聚作用 2、汇聚作用结论： 磁透镜总是汇聚透镜 磁场稍有变化，焦距f则有较大变化,磁场强度越强焦距越短透镜的放大倍数越高。（焦度1/f∝Hz2)，且 电子加速电压越高，电子速度越快，电子越不被易折射，焦距f就越长 1). 聚光镜 ：汇聚电子束，控制束斑的大小 控制孔径角 第一级聚光镜C1：短焦距强磁透镜 第二级聚光镜C2：长焦距弱磁透镜 2). 物镜 作用：形成样品第一级放大的像; 改变其焦距f，对象进行精确聚焦. 类型：短焦距强磁透镜 总放大倍数：M总=MO? MI? MP 其中： MO：物镜放大倍数 MI ：中间镜放大倍数 MP：投影镜放大倍数 物 镜：Objective Lens (OL) 中间镜：Intermediate Lens (IL) 投影镜：Projector Lens (PL) 防污染装置 观察装置 荧光板 （100μ,余辉适中） 观察窗 （含铅） 双目显微镜（10倍，长焦距） 记录装置 照相室、曝光操纵杆、自动曝光装置 2. 油 扩 散 泵 （10-6 ----10-7Torr） 高压电源 透镜电源 偏转线圈电源 消散器电源 真空控制电源 照相机构电源 总电源：220v±2% 稳定,纯净 三大类： A:小电流高电压; B:大电流低电压 C:小电流小电压 （一）电子束与样品的相互作用产生的信息 TEM 直接透射电子（TE) 非弹性散射电子 小角度弹性散射电子 SEM 俄歇电子（AU） 二次电子（SE） 背向反射电子（BE） X-ray分析仪 X-ray 阴极荧光 STEM 非弹性散射电子 大角度弹性散射电子 （二）、与TEM成像有关的信息 （名词）电子散射： 以一定能量入射到样品的电子束，由于受到样品中的原 子核及其核外电子的静电场的作用，使得电子运动方向和速 度发生变化，这种现象称~~。 1、 透射电子： 运动方向和能量基本不变 2、 非弹性散射电子 特点： 能量损失，速度改变，散射角小 主要作用： 改变入射电子束的方向 入射电子能量损失，引起色差（图象模糊） 排除方法： 使样品很薄。加大入射电子束能量 3、弹性散射电子 特点： 散射角大， 速度大小不变而方向变， 能量 几乎无损失 类型 小角度弹性散射电子：参与TEM成像 大角度弹性散射电子：被光阑挡掉 1. 基本概念 1). 振幅反差：人肉眼能分辨出来的光强度的差异 （或叫反差，衬度，振幅差），该反差在TEM中由样 品各部位质量厚度不同引起的透射中的电子波强 度（振幅）变化所提供。 2). 黑白照片的成因 3). TEM的反差: 由散射反差和相位反差组成 2. 散射反差 （基于电子束的粒子性） ◆质量厚度：样品的密度?和厚t的乘积，单位μg/cm2 入射电子在运行过程中 ，总散射量与样品的质量 厚度成正比。 ?t大的区域 ， 产生大角度的弹性散射电子 → 暗区 ?t小的区域 ， 产生小角度的弹性散射电子 →亮区 ◆散射反差结论： ?t↗成像电子束↘ 弱，其对应区域像暗 ?t↘成像电子束↗ 强，其对应区域像亮 或者： 暗区 → 高Z,大?t 亮区 → 低Z,小?t 注: 暗区：指像上的相应区域 高 Z： 原子序数高的元素，即对应样品中 元素序数大或致密区域 3. 相位反差(位相反差) (基于电子束的波动性） 透射波：由TE组成，V不变 散射波：非弹性散射，散射角小，V↘ 相位反差：入射束中个电子与样品作用的散射波与透射波的相位差不同，相位差为π奇数倍时，两者合成波为极小值