12位移与厚度测量方案.pptVIP

课程导读 学习目标 1. 了解常用位移传感器的性能、特点及适用范围； 2.掌握光栅位移测量的原理； 3.掌握编码盘工作原理； 4.了解厚度测量方法。 概述 分类 按被测参量来分:线位移和角位移； 按测量参数的特性：静态，动态 。 许多动态变化的参数：力、扭矩、速度、加速度以位移测量为基础。 位移：是物体上某一点在一定方向上的位置变动，因此位移是矢量。 测量时应当根据不同的测量对象选择测量点、测量方向和测量系统。 12.1 常用位移传感器 根据传感器的变换原理，常用的位移测量传感器有 12.2 光栅传感器 高精度和高分辨率。仅低于激光干涉仪,长光栅精度0.5~3μm/3000mm，角位移达到0.15”; 大量程，精度高于感应同步器和磁栅； 动态测量,易于实现测量和数据处理自动化,数显； 抗干扰能力强,应用于数控机床; 成本比感应同步器和磁栅传感器高； 在现场使用时要求密封，以防止油污、灰尘、铁屑等的污染。 光栅传感器的基本原理 用于位移测量的光栅称为计量光栅。 计量光栅 透射式—光线通过光栅后产生明暗条纹； 反射式—反射光线并使之产生明暗条纹。 直光栅——测量线位移； 圆形光栅——测量角位移。 直光栅上的刻线称为栅线， W＝a+b称为光栅的栅距(光栅常数或节距) ，a为栅