河北工程大学传感器原理及工程应用第9讲.pptVIP

* * 第 5 章 电容式传感器 第 5 章 电容式传感器 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的等效电路 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 (5-1) 式中: ε——电容极板间介质的介电常数，ε=ε0εr，其中ε0为真空介电常数，εr极板间介质的相对介电常数； S——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离。 5.1.1 变极距型电容传感器 图 5-2为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，由式（5-1）可知其初始电容量C0为 (5-2) 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 (5-3) 图5-2 变极距型电容式传感器 图5-3 电容量与极板间距离的关系 在式（5-3）中，若Δd/d01时，1-(Δd/d0)2≈1，则式 (5-4) 结论：①在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。 ② d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 图5-4 放置云母片的电容器 式中：εg——云母的相对介电常数，εg=7； ε0——空气的介电常数，ε0=1； d0——空气隙厚度； dg——云母片的厚度。 结论： ①云母片的击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。 ②极板间起始距离可大大减小。 5.1.2 变面积型电容式传感器 图5-5 变面积型电容传感器原理图 (5-6) (5-7) 结论：这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx呈线性关系。 图5-6 电容式角位移传感器原理图 (5-8) 当θ≠0时， 则 (5-9) 从式(5-9)可以看出，传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。 5.1.3 变介质型电容式传感器 图5-7 电容式液位变换器结构原理图 高斯定理: 通过任意一个闭合曲面的电通量 等于 包围在该闭合面内所有电荷电量的代数和 除以 。 解： 设圆柱面上单位长度上的电荷 ，那么 场强 图5-8 变介质型电容式传感器 (5-11) (5-12) 若电介质εr1=1, 当L=0时，传感器初始电容C0=ε0εr1L0b0/d0。 当被测介质εr2进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 表5-1 几种常用的电介质材料的相对介电常数 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 由式（5-4）可知， 电容的相对变化量为 (5-13) 当|Δd/d0|1时，上式可按级数展开，可得 (5-14) 当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系， 如下式 所示： (5-15) 电容传感器的灵敏度为 (5-16) 它说明了单位输入位移所引起的输出电容相对变化的大小与d0呈反比关系。 如果考虑式（5-14）中的线性项与二次项， 则 (5-17) 由此可得出传感器的相对非线性误差δ为 (5-18) 图5-9 差动平板式电容传感器结构图 在Δd/d01时, 按级数展开得 (5-21) (5-22) 电容值总的变化量为 (5-23) 电容值相对变化量为 (5-24) 略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系： (5-25) 如果只考虑式（5-24）中的线性项和三次项, 则电容式传感器的 相对非线性误差δ近似为 (5-26) (5-26)