TFT-LCD技术简介探索.docVIP

TFT-LCD技术 1 TFT LCD技术发展历史 晶体管的发明对半导体行业来说，是个划时代的事件。作为晶体管的一种，TFT的发明是在与LCD没有任何联系的情况下发生的。1971年，虽然有人提出用TFT驱动LCD的概念，但是并没有引起人们的注意。直到1979年，开发出了TFT LCD，但是当时由于用无源矩阵的方法也可以驱动100条左右的扫描线，因此还是很多人对TFT LCD没有看好。在LCD画面的数十万个画素上都作TFT，在当时的半导体技术水平来看，简直是“痴人做梦”。 进入80年代以后，在TN模式LCD上很难实现显示更多信息量的要求，因此很多人（LCD技术人员，而不是半导体技术人员）在液晶材料和液晶模式上想找出答案。1983年左右，人们终于找到了答案—新的液晶模式STN LCD。由于STN模式非常巧妙的解决了TN模式在100条扫描线以上出现画质急剧下降的问题，整个LCD业界几乎都投入到STN技术开发和产品开发。80年大后期，市场上大量出现了STN产品，还出现了类似于笔记本电脑的文字处理器（Word Processor）。 但是对于彩色化、液晶电视等新的需求，STN模式显然力不从心（响应速度慢，灰度表示较困难）。很多技术人员开始转向新的解决方法。虽然TFT LCD的技术开发没有停止过，但是整个LCD业界开始把目光转向TFT LCD还是上个世纪80年代中期以后的事。 上个世纪80年代正好是日本半导体行业的全盛期，而且比较有趣的是几乎所有的拥有半导体部门的日本企业都参与了TFT LCD产业。因为TFT的工艺与DRAM有很大的类似性，因此虽然没有LCD的技术储备，日本很多半导体企业还是参与了这个行业。其实韩国的三星电子、LG飞利浦、现代都拥有或拥有过半导体部门；台湾的TFT LCD企业（友达）也与半导体有关系。 下面的两个表各自描述TFT的技术发展史和LCD的技术发展史。在1971年TFT技术和LCD技术曾经有过交点，但是没有“成功”的结合；到了1981年开始这两个技术才真正结合并开始发芽开花了。 TFT技术发展历史（引至Flat Panel Display 2001 P96） 时间 主要事件 发明人/组织 晶体管的发明 1947年 发明点接触方式晶体管 1951年 发明结合方式晶体管 Shockley等 半导体产业的形成 1954年 晶体管大量应用 1958年 出现IC 1971年 出现微处理机 TFT的发明 1961年 发明CdSe-TFT - 主要应用于感应器、固体摄影元件，高压开关 Weimer 有源矩阵LCD的 发明 1971年 提出有源矩阵LCD概念 Lechner 1972年 开发CdSe-TFT LCD Brody 1975年 开发CdSe-TFT驱动的EL Brody Si薄膜的出现 1979年 制作a-Si TFT LeComber 1980年 制作低温多晶硅TFT 日立制作所 1981年 制作a-Si TFT LCD LeComber TFT LCD的产品化 1984年 高温多晶硅 TFT LCD的产品化 Hattori Seiko 信州精器 1986年 a-Si TFT LCD TV的产品化 松下电器 TFT产业的确立 1991年 采用彩色TFT LCD的笔记本电脑产品化 NEC、日本IBM LCD技术发展历史（引至Flat Panel Display 2001 P96） 时间 主要事件 发表者/发明者 1961年 最初TFT论文 Weimer,P.K 1962年 申请DSM液晶模式的专利 Williams,R US Patent 3322485 1968年 发表DSM液晶模式的论文 Heilmeier,G.H等 发表GH（宾主）液晶模式的论文 Heilmeier,G.H等 1970年 发表ECB液晶模式的论文 Hass，W等 1971年 发表TN液晶模式的论文 Schadt,M等 申请TN液晶模式的专利 瑞士 F.Hoffma-La RocheCo.Ag 发表DSM液晶模式双频驱动法论文 发表有源矩阵液晶原理的论文 开发利用DSM液晶的手表 精工 1972年 发表ECB矩阵液晶的论文 申请1/3 Bias电压平均法的专利 日立 发表在LCD采用电压平均法的论文 1973年 发表梳状电极液晶的论文 发表1/3 Bias电压平均法的专利 发表制作CdSe-TFT矩阵LCD的论文 开始出售采用DSM液晶的计算器 夏普 开始出售采用TN液晶的计算器 精工 申请随意Bias电压平均法的专利 日立 1974年 发表考虑实值依赖性的线顺次驱动法的