光电检测技术论文.docVIP

SEM的基本原理及系统分析 摘要：本文首先介绍了SEM的系统，并从原理出发导出了SEM的构造，最后介绍了SEM的应用和展望。 关键词：扫描电镜，电子枪 An Fundamental principle and system analysis of Scanning Electron Microscope Abstract：This paper introduces the system analysis of SEM and SEM derived from the principle of starting the construction, and finally introduces application of SEM , summed up the prospect of SEM. Key words：SEM, Electron gun 引言　 SEM是近十余年才发展起来的。它的电子束路径附好与透射电镜的相侧逆。扫描电镜在几个方面具有明显的优越性，它的成象有较大的景深，不需作样品表面的复型，可以观察游离细胞、血细胞的表面结构和染色体的次级罗纹，其分辨率已经达到2nm左右。扫描电镜利用电子束在晶体中的通道效应可作选区电子衍射，进行微区空间结构的分析，选区范围可小到10nm若带上X光微区分析仪后，可利用样品在电子束作用下发出的特征X线来进行表面微区元素成份分析，精度可达