扫描电子电镜SEM实例(培训)研究.ppt

8. 扫描电镜应用实例 断口形貌分析 纳米材料形貌分析 在微电子工业方面的应用 1018号钢在不同温度下的断口形貌 8.1 断口形貌分析 ZnO纳米线的二次电子图像 多孔氧化铝模板制备的金纳米线的形貌（a）低倍像（b）高倍像 8.2纳米材料形貌分析 （a）芯片导线的表面形貌图， （b）CCD相机的光电二极管剖面图。 8.3 在微电子工业方面的应用 本章重点 电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜衬度像（ 二次电子像、背散射电子像 扫描电子显微镜 第三章 扫描电子显微镜 1. 扫描电镜的优点 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 3. 扫描电镜的工作原理 4. 扫描电镜的构造 5. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 6. 扫描电镜的主要性能 7. 样品制备 8. 应用举例 1. 扫描电镜的优点 高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右。 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构 试样制备简单。 配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。 Optical Microscope VS SEM 2. 电子束与固体样品作用时产