OGS工艺(for闻泰20140715)综述.ppt

专注于上游平板显示材料 莱宝高科 ITO导电玻璃 彩色滤光片 TFT-LCD空盒 触摸屏 OGS工艺介绍 深圳莱宝高科技股份有限公司 2014/07/15 目录 一、Sensor生产工艺介绍 二、模组段生产流程介绍 三、产品L/T介绍 一、 Sensor生产工艺介绍 X Y OC X Y OC 金属搭桥 ITO隧道 X Y Metal ITO Pattern类型主要有2种：金属搭桥和ITO隧道结构。 1. 共需要12道制程；5道Mask，2张网版。 2.金属桥在OC绝缘层上面。 1、单面 ITO Pattern金属搭桥 R面 镀SiO2 R面BM 图形NR R面 镀ITO R面 ITO 图形 R面 镀MT R面 涂布PR R面 光刻OC R面 光刻OC R面 镀 SIONx R面 涂布PR R面 MT图形 R面光刻OC过UV 金属桥引线 绝缘层 ITO层 绝缘层 金属桥 金属层 2、单面 ITO 隧道 Pattern R面 镀SiO2 R面BM 图形NR R面 镀ITO1 R面ITO1 图形 R面 镀ITO2 R面 涂布PR R面 光刻OC R面光刻OC过UV R面 涂布PR R面ITO2 图形 R面光刻OC过UV R面 镀MT R面 涂布PR