现代控制理论基础
上机实验报告之一
亚微米超精密车床震动控制系统的状态空间法设计
院 系 :航天学院
专 业 :
姓 名 :
指导教师 :
哈尔滨工业大学
2015年6 月 20日
一、系统的工程背景及物理描述
1.系统的工程背景
超精密机床是实现超精密加工的关键设备,而环境振动又是影响超精密加工精度的重要因素。为了充分隔离基础振动对超精密机床的影响,目前国内外均采用空气弹簧作为隔振元件,并取得了一定的效果,但是这属于被动隔振,这类隔振系统的固有频率一般在2Hz左右。
系统的物理描述
上图表示了亚微米超精密车床隔振控制系统的结构原理,其中被动隔振元件为空气弹簧,主动隔振元件为采用状态反馈控制策略的电磁作动器。
上图表示一个单自由度振动系统,空气弹簧一般弹性支承的低通滤波特性,其主要作用是隔离较高频率的基础振动,并支承机床系统;主动隔振系统具有高通滤波特性,其主要作用是有效地隔离较低频率的基础振动。主、被动隔振系统相结合可有效地隔离整个频率范围内的振动。
床身质量的运动方程为:
---空气弹簧所产生的被动控制力
---作动器所产生的主动控制力
假设空气弹簧内为绝热过程,则被动控制力可以表示为:
---标准压力下的空气弹
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