重庆大学“微机械设计及制造”考试题解.docVIP

研究生课程考核试卷 （适用于课程论文、提交报告） 科 目： 微机械设计及制造 教 师： 姓 名： 学 号： 专 业： 类 别： 上课时间： 年 月至 年 月 考 生 成 绩： 卷面成绩 平时成绩 课程综合成绩 阅卷评语： 阅卷教师 (签名) 重庆大学研究生院制 重庆大学研究生《微机械设计与制造》课程考核要求 1）引用的参考参考文献及资料需要注明； 2）提交时间： 年 月 日上课按组提交，交纸质稿及电子稿。 一、基本概念（35分） 1.解释微机械系统及组成？ 答：微机械系统即微机电系统，指的是用微电子和精细加工手段制造的含有结构和系统尺寸较小的静止或可动构件的机械装置。 微机械系统的组成有：微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源/p-504783600.html微型机械制造技术/view/b2cb5f77f242336c1eb95ee2.html微机械系统技术与发展 郭志平 2004年10月2日 2.解释微机械设计的目的？ 答：微机械的目不仅仅在于缩小尺寸和体积，更在于通过微型化、集成化、来搜索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。 /view/2d1d4bfcf705ca.html微型机械加工技术发展现状和趋势分析 3.解释微机械系统的特性？ 答：微机械系统的特性有： 1）微型化：器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的。批量生产可大大降低生产成本。4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的。5）多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。/view/b2cb5f77f242336c1eb95ee2.html微机械系统技术与发展 郭志平 2004年10月2日 4.解释微位移机构的分类？ 答：微位移机构根据产生微位移的原理可分为机械式和机电式的微位移机构。其中机械式的微位移机构包括：精密丝杠、差动丝杠微位移机构，杠杆机构微位移机构，弹性结构（包括扭簧、弯曲弹簧、横向压缩弹簧、伸缩筒、弹簧膜片膜盒）微位移机构，齿轮机构微位移机构，楔块机构、凸轮机构微位移机构。 机电式的微位移机构包括：电热式（包括电热伸缩棒、电热伸缩筒）微位移机构、电磁式（包括电磁、磁致伸缩）微位移机构，压电、电致伸缩（包括压电陶瓷、电致伸缩器件）微位移机构。 引自：/p-973391624421.html 第六十九讲 微位移机构。 5.解释微机械设计的尺寸效应？ 答：微机械设计的尺寸效应是：在宏观领域作用微小的力和现象，在微观领域可能起着重要的作用。在微小尺寸领域，与特征尺寸L的高次方成比例的惯性力、电磁力等的作用相对减小，而与尺寸的低次方成比例的粘性力、弹性力，表面张力、静电力等的作用相对增大；随着尺寸的减小，表面积与体积之比相对增大，表面力学、表面物理效应将起主导作用。 /view/b2cb5f77f242336c1eb95ee2.html微机械系统技术与发展 郭志平 2004年10月2日 6.解释微机械的微细加工？ 答：微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。在微机械研究领域中，从尺寸角度，微机械可分为1mm~10mm的微小机械，1μm~1mm的微机械，1nm~1μm的纳米机械，微细加工则是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工等多种方式，微机械制造过程又往往是多种加工方法的组合。从基本加工类型看，微细加工可大致分为四类：分离加工——将材料的某