CTP制程28918.pptVIP

Touch Panel Structure Touch Panel Process Flow 蝕刻目的: 經過顯影后的基板,利用相對應的化學試劑將裸露在表面的材料移除掉,以達到設計需求的pattern. Stripper 原理: DVP (Developer) 顯影效果確認: 顯影過程中其化學反應速度隨藥液濃度的改變,顯影溫度的改變而改變,同時其顯影效果隨噴淋方式而變化. Glass PR PR Glass PR PR PR Glass PR PR PR Glass 正常顯影 不完全顯影 顯影不足 顯影過度 Post Baker (硬烤) 目的：將光阻內最後的溶劑趕走,使光阻定型,並將顯影清 洗後基板表面殘留的水氣烤乾. Etching (蝕刻) Chemical: Al 酸?移除金屬鋁膜 王 水?移除氧化銦錫膜 藥液均勻的噴灑 在基板表面上 Innolux Confidential 審核 : 製作 : 核准 : CTP Process Introduction A Display Company of the Foxconn Group 2009/8/15 2002/8/14 Prepared by Clio Tseng Gl