工業材料200105p105羅士哲★掃描探針顯微鏡之原理與應用.pptVIP

掃描探針顯微鏡之原理與應用 Dr. Rational You IEK/ITRI 2002/02/01 Outline 掃描探針顯微鏡系統架構 (a)探針尖端外形示意圖(b)以不同探針外形掃描相同輪廓試片之結果 常見的三種SPM微探針 穿隧電流感測器示意圖 力量感測器示意 音叉式光纖探針感測 掃描探針顯微鏡之控制系統與定位平台 掃描探針顯微鏡之應用例 工研院機械所開發之掃描探針顯微鏡 Reference 1. Young, R., Ward, J. and Scire, F., Review of Scientific Instruments, 43, pp. 999-1011, 1972. 2. D. W. Abraham, H. J. Mamin, E. Ganz, and J. Clarke, IBM J. Res. Dev. 30, pp. 492, 1986. 3. 羅士哲、林熙翔、林錫甫﹐“掃描探針顯微加工之發展與應用”﹐機械工業雜誌﹐ Vol. 209, Aug. 2000, pp. 106-112 。 4. 林夏玉、蔡定平、羅士哲、黃珩春、王鴻年﹐“近場光學之原理與應用發展”﹐機械工業雜誌﹐ Vol. 209, Aug. 2000, pp. 99-105 。 5. Kuen-Syh Tseng, T. E. Hsieh, Shih-Che Lo and Hsi-Fu