半m导体元器件高温老化故障诊断和维修.docVIP

浅谈半导体元器件高温老化故障诊断和维修方法 论文作者：姜忠晶 概述 随着电子技术的发展，半导体元器件的集成化程度越来越高，结构越来越细微，工序越 来越多，制造工艺越来越复杂，这样在制造过程中会产生潜伏缺陷。对于一个好的半 导体器件产品，不但要有较高的性能指标，而且还要有较高的稳定性。半导体元器件的 稳定性取决于设计的合理性、性能以及制造工艺等因素。目前，国内外普遍采用高温老 化工艺来提高半导体元器件产品的稳定性和可靠性，通过高温老化可以使元器件的缺 陷、焊接和装配等生产过程中存在的隐患提前暴露，保证出厂的产品能经得起时间的考 验。 但是，在高温老化过程中经常会出现一些故障现象，这些故障直接影响着产品的质量， 甚至有些故障会造成大量的产品毁坏，导致生产成本大大增加，严重影响经济效益，这 种情况的发生在生产企业是绝对要禁止的。因此，在这篇文章里我列举了10个高温老 化过程中常见的故障现象和分析解决方法供同行参考，望提出宝贵意见。 下面简单介绍一下半导体元器件高温老化的工作原理。 高温老化的工作原理 高温老化由以下三部分组成（见图）： 高温老化炉： 高温老化炉是用来模拟元器件在极端高温下的工作环境，用来检验元器件在所能容忍的 最高工作温度中的工作情况，通过此项检