超高真空技术简介课件.ppt

表 面 物 理 学 江 颖 量子材料中心 超高真空技术简介 超高真空基础 超高真空的获得 超高真空的测量 超高真空检漏 超高真空基础 真空分类 平均自由程 超高真空的获得 系统的极限压强 真空壳体及其内部的元部件的气流量 泵的有效抽速 真空系统中的气体源 经容器壁和连接处的泄漏 虚漏 蒸发 体出气 表面出气 分解 高能粒子轰击出气 超高真空兼容的材料 玻璃，石英，Sapphire （观察窗） 高纯金属，如：Cu，Al，不锈钢等（真空腔体，真空零件） 陶瓷，云母，teflon，Sapphire（绝缘） 合成橡胶，环氧树脂，氟橡胶（O圈密封） 超高真空应避免的材料 Plastics，common steel，lead，indium，zinc, cadmium，water. Avoid all traces of hydrocarbons, including skin oils in a fingerprint. 超高真空腔体 饱和蒸汽压低 耐450度以上高温烘烤 气体渗漏可以忽略 强度足够大经得住大气压 高温下耐腐蚀 表面出气达到平衡的时间随温度的变化 烘烤（150-200 oC） 不可拆卸密封方式 Welded connections stainless steel，aluminum Brazed connections join metals at soldering temperatures of above 600C Fusing glass components (in glass equipment) and for glass-to-metal connections Metalized connections Ceramic-to-metal connections 可拆卸密封方式 rubber o-rings, molded rubber rings, rubber diaphragms or cups, soft metal/hard metal seals, hard metal/hard metal seals, soft metal/polished sapphire flat. 静密封：CF法兰 动密封：机械运动 波纹管 磁耦合 角阀 闸板阀 漏阀 真空泵分类 泵的抽速和极限压强 压缩比 涡轮分子泵 （molecular turbo pump） 工作原理 抽速 vs. 转速 压缩比 抽速 vs. 分子质量 抽速 vs. 工作压强 溅射离子泵（sputtering ion pump） 工作原理 抽速 vs. 工作压强 钛升华泵（sublimation pump） 冷凝泵（cold trap） 组合泵 超高真空的测量 真空测量 总压强 分压强 冷阴极离子规（Cold cathode ionization vacuum gauges） 热阴极离子规 (Hot cathode ionization vacuum gauges) 两种真空规的比较 BAG的准确率远好于CCG BAG的可测得极限压强低于CCG 使用BAG需要对灯丝除气，CCG则不用 CCG在低真空下易被污染 对于需要频繁抽真空，真空度在10-9Torr以上的系统，优选CCG 质谱仪 Sector field devices use the deflection effect of a magnetic field on moving charge carriers Time-of-flight mass (TOF) spectrometers utilize the differing velocities of molecules of equal energy for separation Quadrupole mass spectrometers utilize the resonance of moving ions in a high-frequency field (similar to ion traps) Sector field mass spectrometers Quadrupole mass spectrometers Stability diagram Mass spectroscopy 超高真空的检漏 检漏气体的要求 Be non-toxic to humans, animals and the environment Not displace air, as hazardous situations, such as suffocation, could otherwise occur be inert, i.e. slow to react, and should neit