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结构原理 特点 发展前景 PART FOUR 涡轮分子泵 背景 1.背景 分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢,在1970年以前，分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。 涡轮分子泵是一种高速旋转的精密动量传输式真空泵,是获得高真空(HV)和超高真空(UHV)的关键设备之一， 近年来关于涡轮分子泵的研究变得十分热门。 2.结构原理 （1）结构 涡轮分子泵是由泵壳、涡轮叶列组件和电动机(包括电源)组成的。涡轮叶列组件是由多级的动片和定片相间排列组成的。根据叶片不同的几何形状,又把叶列分成高、中、低真空三个区段。通常叶列的第一级和最末级都是动片,两动片之间均为定片，结构如图2.2所示。 （2）原理 涡轮分子泵( turbo-molecular pump，TMP，以下简称分子泵) 依靠高速运动的涡轮表面“拖动”气体分子作定向运动，实现气体抽出，获得清洁高真空和超高真空。 2.结构原理 气体输送能力强。大多数涡轮分子泵对于输送轻气体 （如氢、氦）的能力很强 在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀，使用方便 3、特点 清洁，无油蒸汽返流 循环的时间短 高压力下性能良好 适于超高真空应用 对颗粒物或 沉积物敏感 泵会出现振动 和噪音问题 暴露大气 易引起事故 （2）缺点 设备费用高 由于结构上的原因,涡轮分子泵也有其致命的缺点:造价很高而且易损坏,在损坏前征兆不明显,不易预测。如何提高涡轮分子泵的使用寿命,成为企业致力解决的重要问题之一。目前涡轮分子泵的研究方向主要是整体转子的设计和制造技术。 4、发展前景 四、结束语 现阶段的总结： ☆现阶段的各种流体输送机械都或多或少的存在弊端，但总的来说，只要使用合理，利远远大于弊。 ☆现阶段流体泄漏、叶轮腐蚀和扬程不足等一系列问题是制约流体输送的普遍问题。 未来展望 随着社会的进步、科学技术的发展，各种机械的不足将得到一定改善。未来的流体输送机械主要朝着环保和节能的方向发展。同时，随着材料研究的发展，更高强度、更耐腐蚀的材料也会被应用到流体输送机械上。 现阶段流体泄漏、叶轮腐蚀和扬程不足等一系列制约流体输送机械的问题必将得到解决，让流体输送机械更好地造福人类。 普通流体输送机械简介 结束语 新型流体输送机械 概述 目录 一、概述 1、化工生产中为什么要流体输送机械？ 连续流动的各种物料或产品 由低处送至高处 由低压送至高压设备 克服管道阻力 …… 流体输送机械 ——为输送流体而提供能量的机械 按工作原理分： 动力式（叶轮式）：离心式，轴流式； 容积式（正位移式）：往复式，旋转式； 其它类型：喷射式，流体作用式等。 气体的输送和压缩，主要用鼓风机和压缩机。 液体的输送，主要用离心泵、漩涡泵、往复泵。 固体的输送，可采用流态化的方法 2、为什么要用不同结构和特性的输送机械 化工厂中输送的流体种类繁多： （1）流体种类有强腐蚀性的、高粘度的、含有固体悬浮物的、易挥发的、易燃易爆的以及有毒的等等； （2）温度和压强又有高低之分； （3）不同生产过程所需提供的流量和压头又各异。 内容 1 内容 2 内容 3 内容 4 流体输送机械 离心泵 二、普通流体输送机械简介 往复式泵 其他 液体泵 气体输 送机械 主要有叶轮，泵体，泵轴和轴承这四部分。 叶轮内的液体受到叶片的推动而与叶片共同旋转。由旋转而产生的离心力﹐使液体由中心向外运动﹐并获得动能增量。 结构简单、流量大而且均匀、操作方便等优点，在化工生产中的使用最为广泛。 离心泵 基本结构： 活塞（或柱塞） 活塞杆 冲程S：活塞移动距离 泵缸 活门 联动装置 原理： 单动往复泵 双动往复泵 往复泵 计量泵 适用于小流量、固定流量或比例的液体输送。 隔膜泵 腐蚀性液体或含有悬浮物的液体。 齿轮泵 螺杆泵 可用于输送带颗粒的悬浮液，适于在高压下输送粘稠性液体。 其他液体泵 压头较高而流量较小，适用 于输送粘稠液体以至膏状物 料，不能输送悬浮液。 气体输送机械 气体输送 产生高压气体 产生真空 用途： 特点： 可压缩，V，T有变化 ，VS大约是 u=15～25m/s 通气机： 终压不大于15kPa, p2/p1 = 1～1.15 鼓风机：终压不15-300kPa ，p2/p1 4 压缩机：终压在300kPa以上， p2/p1 4 真空泵：终压为大气压，压缩比范围大。 磁力泵 三、新型流体输送机械 （Magnetic Pump） 喷射泵 （Jet Pump） 直线共轭内啮合齿轮泵 （Strai