6第九、十章电镜结构答辩.ppt

电子显微分析 基本内容 1 电镜的结构与成象 2 电镜中的电子衍射及分析 *1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3 电镜显微图象解释 1）复型象 2）衍衬象 4 扫描电子显微术 5 电子探针显微分析 第九章 电子光学基础 §9.1 电子波与电磁透镜 1.光学显微镜的局限性 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 —— 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6， 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 3. 电子透镜 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 极靴作用 为了在加强励磁的同时，又能缩小磁场的范围，把线圈装在具有环形狭缝的软磁铁壳中。 极靴用高导磁率的纯铁、坡莫合金等制成，它可使有效磁场尽可能集中在磁透镜轴上很短的距离内（几毫米)。图10 5b给出了上述透镜轴向磁场强度分布的曲线。 极靴作用 极靴作用 10.2 主要部件的结构与工作原理 图1-7是焦深的示意图。由图可以看出， 由于 ，即 所以 这里的M是总放大倍数。可见，焦深是很大的。例如， ， 埃时， 米。 屏 透镜 α L1 L2 Df 2d最小 M 图1-7 焦深示意图 第十章 透射电镜的主要结构 高分辨电镜的设计分为两类：一是为生物工作者设计的，具有最佳分辨本领而没有附件；二是为材料科学工作者设计的，有附件而损失一些分辨能力。另外，也有些设计，在高分辨时采取 短焦距，低分辨时采取长焦距。 我们这里先看一看一些电镜的外观图片，再就电镜共同的结构原理和日趋普及的分析电镜的有关部分做一介绍。 ??? 日本日立公司H－700 电子显微镜， ● ? 分 辨 率：0.34nm● ? 加速电压：75KV－200KV● ? 放大倍数：25万倍● ? 能 谱 仪：EDAX－9100● ? 扫描附件：S7010 　 CM200-FEG场发射枪电镜 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? EM420透射电子显微镜 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4? Philips CM12透射电镜 加速电压20KV、40KV、60KV、80KV 、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2.04? CEISS902电镜 加速电压50KV、80KVW灯丝 2 1 3 4 4 5 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 16 17 18 19 20 电镜结构 光学显微镜和电镜光路图比较 请看下页 光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子镜 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 照相底板 电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大 部分组成。 1 . 电子光学系统 图1-9 是近代大型电子显微镜的剖面示意图，从结构 上看，和光学透镜非常类似。 1）照明部分 （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作 成V或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全， 一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 （3）栅极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的 亮度。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数