09 扫描和电子探针课件.pptVIP

金相组织观察 样品室 扫描电子显微镜的样品室空间较大，一般可放置?20×10 mm的块状样品。近年来还开发了可放置尺寸在?125mm以上的大样品台。 观察时，样品台可根据需要沿X、Y及Z三个方向平移，在水平面内旋转或沿水平轴倾斜。 样品室内除放置样品外，还安置各种信号检测器。 SEM样品制备 SEM样品制备 SEM样品喷金 第三节 电子探针X射线显微分析 电子探针概述 Hiller在20世纪40年代首先提出电子探针的设想； Castaing对该设想加以完善，在一台电子显微镜上加一个X射线谱仪和一台金相显微镜拼凑成； 1956年第一台商品电子探针问世； 目前，一般是一台扫描电镜配上X射线能谱仪（EDS），构成一台简易的“电子探针”；有的加上X射线波谱仪（WDS）； 专用的EPMA一般配有一台能谱仪、几台波谱仪以及一个专用的光学显微镜。 微区成分分析（EDS） 作业 10-2 10-3 10-4 * 二、应用 1. 二次电子像 （1）颗粒形态、大小、分布观察与分析 （2）断口形貌观察 （3）显微组织观察等 2. 背散射电子像 （1）分析晶界上或晶粒内部不同种类的析出相 （2）定性地判定析出物相的类型 （3）形貌观察等 （Electron Probe Micro-Analysis，EPMA） * 电子探针仪的构造与扫描电镜大体相似，只是增加了接收记录