光伏-RENA设备工艺简介.pptVIP

RENA设备与工艺培训 2011-1-9 RENA清洗制绒原理方程： RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2O SIO2+HF——H2[SIF6]+H2O RENA设备：内部和表面绒面 3 RENA运行时的内部状况图 多晶硅片经过制绒后的绒面形貌 注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过程中片子是漂浮在溶液上的。 RENA设备：外观 4 注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。 在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。 一.RENA设备：各部分构件介绍 5 Dryer Acidic bath Rinse2 Alkaline bath Rinse3 Keep process temperature stable chillier Etch bath  Rinse1 清洗一槽 碱洗槽 冲洗二槽 酸洗槽 冲洗三槽 干燥 蚀刻槽（主槽） 工作流程 RENA操作界面介绍1： RENA主界面详细说明2： 程序内的日期和时间 模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名 灯塔状态 机器名称 厂家名称 报警的详细信息 登陆按扭 RENA设备：外围药液桶 8 注：通过对外围药液桶液位的观察可以很好的了解到药液的用量情况 RENA主界面详细说明3: 一号传动的状态及设定速度 二号传动的状态及设定速度 传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿 三号传动的状态及设定速度 机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报 RENA主界面详细说明4: 进口处统计归零 准备上料（自动模式下才会出现） 出口处统计归零 进口处硅片统计 出口处硅片统计 刻蚀槽温度 三个电机分别控制三段滚轴 碱槽温度 门状态(绿色为关闭灰色为开启) RENA主界面详细说明5: 登陆筐,可输入登陆名密码后登陆(不同的登陆名有不同的权限) 记事本 锁定窗户 正在使用的工艺文件 机器自动运行时的开始和停止 灯塔测试(点击后灯塔全部亮) RENA主界面详细说明6: 关闭模式 手动模式 服务模式(权限最高) 自动模式 切换到初始界面按扭 进入服务模式按扭 进入手动模式按扭 工艺文件 进入手动添加界面 曲线图 进入报警信息界面 取消蜂鸣 取消报警 RENA主界面详细说明7: 各添加桶状态 冷水机状态 储液箱状态 储液箱进口温度 储液箱设定温度 储液箱实际温度 冷水机内自来水的电导率 集中供液是否READY 机器内化学品排放是否READY RENA手动模式状态详解： RENA刻蚀槽界面介绍： MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 PT FILLING DI----储液槽加纯水 PT FILLING CHEMIE----储液槽加化学药品 SYSTERM RINSING----整个系统(包括外槽内槽储液槽)用纯水清洗 SYSTERM DRAINING----整个系统排液 BATH CHANGE----刻蚀槽储液槽排空,再重新配液 START MAIN FUNCTION----在手动模式下单个槽运行工艺 RINSE BATH START----开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用) RINSE BATH STOP----纯水清洗结束 FILL BATH----给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水) DRAIN BATH----刻蚀槽排液 RENA刻蚀槽功能： 第一次配槽的设定体积 实际加入的体积 未加入的体积(点击上图的REST REMAIN VOL.可以清零） 流量 RENISE1界面 RENISE1功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作 RENISE 1槽的状态 RENA碱槽界面 碱槽功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水 FILLING CHEMIE----加化学药品（初始配槽） RINSING----用纯水清洗 DRAINING----整个槽排液 START CIRCULATION----开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一） START ETCHING----在手动模式下单个槽运