4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1..pptVIP

* * Third floor, hot with lots of thermal 多次反射测量 经过镜面多次反射后光强变得很弱 增大了动态测量的难度 离轴非球面的测量 超薄镜面的检测 长焦距离轴非球面的测量 长光程测量 口径1.2m，半径40m 抛物面 长光程测量中的气流场 32m 光程, F 1.2m * 表面残差 PVq=89nm：去除zernike项后 * 口径0.8m，500次测量平均消除气流影响 加工现场检测 气流的均化与抑止 Confocal test of 3m radius, 300mm diameter spherical mirror - 0.0008 l rms 1s repeatability, 5 averages of 25 measurements 轻质复合镜：半径20m, 口径0.5m 振动环境 世界上最大的望远镜主镜 19.2m ROC, 8.4m diameter, F/1.14 Spin Cast Primary Mirror 环境仓内的低温测试 Figure testing of 300 mm Zerodur mirrors at cryogenic temperatures, Baer Lotz, SPIE 4822-4 July 2002 超音速冲击波 强激光的热过程 重要项目中的应用 亚利桑达大学 镜面实验