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传感器第四章电感式传感器简介.ppt

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工作原理类似于变压器。主要包括有衔铁、初级绕组、次级绕组和线圈框架等。初、次级绕组的耦合能随衔铁的移动而变化,即绕组间的互感随被测位移的改变而变化。 初级线圈作为差动变压器激励用,相当于变压器的原边,而次级线圈由结构尺寸和参数相同的两个线圈反相串接而成,且以差动方式输出,相当于变压器的副边。所以又把这种传感器称为差动变压器式电感传感器,通常简称为差动变压器。 3、电感测微仪 探头 测量 电桥 交流 放大 相敏 检波 指示器 振荡器 4、测量力或压力 例:张力测量 第二节 电涡流式传感器 一、基本工作原理 二、电涡流传感器等效电路 三、电涡流传感器的种类 四、电涡流传感器测量电路 五、电涡传感器的应用 一、基本工作原理 1、电涡流效应 根据法拉第定律,块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时,导体内部将产生漩涡状的感应电流,称为电涡流,这种现象称为“电涡流效应”。 特点:能对位移、厚度、表面温度、速度、应力、材料损伤等进行非接触式连续测量。 返回 2、工作原理 涡流的大小与金属板的电阻率ρ、磁导率μ、厚度h、金属板与线圈的距离δ、激励电流角频率ω等参数有关。若固定某些参数,就可根据涡流的变化测量另一个参数。 3、电涡流强度与距离的关系 I1:线圈激励电流  I2:金属导体中等效电流  x:线圈到金属导体表面距离 D:线圈外径 以上分析表明:  ① 电涡流强度与距离x呈非线性关系,且随着x/D的增加而迅速减小。  ② 当利用电涡流式传感器测量位移时,只有在x/D1(一般取0.05~0.15)的条件下才能得到较好的线性和较高的灵敏度。 r=0.525D 4、电涡流形成范围 1 2 D r R h R=1.39D 二、电涡流传感器等效电路 M R L1 L R1 把被测导体上形成的电涡流等效成一个短路环中的电流,短路环可以认为是一匝短路线圈,其电阻为R1、电感为L1。这样线圈与被测导体便可等效为两个相互耦合的线圈。线圈与导体间存在一个互感M,它随线圈与导体间距x 的减小而增大。 传感器线圈的等效阻抗为: 线圈的等效电阻和电感为: 当被测导体的某些参数发生变化时,可引起涡流式传感器线圈的阻抗Z、电感L和品质因数Q变化,测量Z、L或Q就可求出被测量参数的变化。 线圈的等效品质因数Q值为 三、电涡流传感器的种类 电涡流在金属导体内的渗透深度为: 分为低频透射式和高频反射式两类。 1 、低频透射式涡流厚度传感器 检测范围可达1~100 mm; 分辨率为0.1 μm; 线性度为1%。 发射线圈 接收线圈 1 、低频透射式涡流厚度传感器 发射线圈L1和接收线圈L2分置于被测金属板的上下方。由于低频磁场集肤效应小,渗透深,当低频(音频范围)电压u1加到线圈L1的两端后,所产生磁力线的一部分透过金属板,使线圈L2产生感应电动势u2。但由于涡流消耗部分磁场能量,使感应电动势u2减少,当金属板越厚时,损耗的能量越大,输出电动势u2越小。 因此,u2的大小与金属板的厚度及材料的性质有关.试验表明u2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,因此,若金属板材料的性质一定,则利用u2的变化即可测厚度。 线圈L2 的感应电压与被测厚度的增大按负幂指数的规律减小,即 δ:被测金属板的厚度; h:贯穿深度。 测量厚度时,激励频率应选得较低。频率太高,贯穿深度小于被测厚度,不利于进行厚度测量,通常选激励频率为1kHz左右。 测薄金属板时,频率一般应略高些,测厚金属板时,频率应低些。在测量电阻率ρ较小的材料时,应选较低的频率(如500Hz),测量ρ较大的材料时,应选用较高的频率(如2kHz),从而保证在测量不同材料时能得到较好的线性和灵敏度。 注意: 2. 高频反射式电涡流传感器 返回 高频(lMHz) 高频激励电流产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。与此同时,该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈,引起线圈自感L或阻抗ZL的变化。线圈自感L或阻抗ZL的变化与距离该金属板的电阻率ρ、磁导率μ、激励电流i及角频率ω等有关,若只改变距离δ而保持其它参数不变,则可将位移的变化转换为线圈自感的变化,通过测量电路转换为电压输出。 高频反射式涡流传感器多用于位移测量 ie d M ~ Φe Φi 工作原理图 高频反射式涡流厚度传感器 四、电涡流传感器测量电路 1. 调频式电路 Z:LC回路的阻抗 2. 调幅式电路 晶体振 荡器 L C 输出 放大 检波 滤波 R 返回 1、位移测量 2、振幅测量 3、转速测量 五、电涡传感器的应用 4、厚度测量 5

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