厂务设施中央监控系5统设计指引.docVIP

Facility Monitoring and Control System Design Guide 厂务设施中央监控系统设计指引 技术手册 高科技项目/仪电组  目 录 1.0 系統簡介 3 1.1 系統用途 3 1.2 主要設備 3 1.3 控制功能 5 2.0 設計準則 5 3.0 設計步驟及注意事項 7 3.1 建立廠務監控系統架構圖 7 3.2 依設備需求製作控制系統之I/O List 9 3.3 繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 10 3.4 選擇相關軟體 10 3.5 控制器與儀器平面配置圖 11 3.6 廠務監控系統規範書 11 3.7 儀器規範書 12 3.8 完成廠務監控系統圖面設計與規範 12 3.9 圖面設計與規範書之校核、審定與核准 12 3.10 圖面設計與規範書確認 13 1.0 系统简介 1.1 系统用途 半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺利，维持高良率。 负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统(统称为SCADA，Supervisory Control And Data Ac