扩散halfautomation的认识解答.doc

扩散半截距自动化设备 公元2015.7.27 ========扩散半截距设备的认识======== 1、给设备上220V和24V的电源。红色旋钮为220V需要打到ON的位置；绿、红色按钮为24V电源开关；上电就按下绿色按钮，断开电源，按下红色按钮即可。  2、把电脑主机的门通过旋转钥匙将打开，通过按红色圈内的按钮给电脑上电。 进入操作主界面。 手动模式 自动模式 伺服原点与操作 皮带操作 伺服参数 气缸操作 传感器 连接通讯：将钥匙打到手动状态，按下START按钮，点击手动模式里的apply。 通讯连接成功后，将钥匙打到中间位置，按下START按钮，点Axis Home进行伺服 回原点。 回原点结束后，选择上下料模式，将钥匙打到自动模式，点复位开始。 更改完参数，必须要保存，否则更改参数无效啊，保存成功，上方指示灯为绿色。 一、此设备由两大部分组成。 一部分与扩散主机台相连接，负责舟的传送以及上下舟，主要由舟定位装置，叉子等组成；另一部分由上下料装置（舟托盘、顶齿、两吸盘）和测方阻模块（小吸盘、测方阻仪器）组成。 二、此设备的运行操作：此设备有三种模式，上料模式、下料模式、 和上下料模式。在正常生产中，我们使用上下料模式。 在手动状态下，切换到上下料模式，扩散完的硅片，到达上下料位置，应上一个空花篮或者前半花篮装满wafer（扩散过的wafer），后半花篮空的花篮，当cassettes到达上下料位置，排齐气缸整理片子后顶齿上升，两吸盘移动并取片，放入花篮中，即下料；下料后须上fill cassettes，顶齿上升，吸盘将花篮中的wafer放到顶齿上，顶齿下降，再次整理片子，即上料。如此往复循环，下完料后，花篮流到测方阻位置，小吸盘在设定好的位置取片进行测方阻。测完方阻的硅片流到皮带端头，生产人员将装满wafer的cassettes放到物流车上，达到一定数量，由物流人员推到出料窗口，并运送到下一个工段（二次清洗）。 三、上下料的安全操作和注意事项： 上料或者上花篮前，一定要确认花篮的正反方向，避免插碎；此设备不能识别花篮的正反方向； 切换模式时，一定要在手动状态下切换； 上下料过程中，扩散前后的wafer隐裂片较多，密切查看wafer的状态； 吸盘取片后，尽量使wafer在同一直线上，如差距较大，及时去修正，避免在花篮和顶齿中插碎，造成更多的碎片； 手动切换自动，载板有舟时点一定要click“boat valve”，否则无法开始； 在叉子运行过程中禁止按STOP，非紧急情况不得拍急停，否则需断电重启； 皮带不得用酒精擦拭，防止皮带摩擦力大导致花篮到位时，晃动而造成碎片； 选完槽位要及时进行复位； 半月、月、季度、年度保养以及日常维修，丝杆上油时要严格控制量，机器运转过程中防止油滴飞溅或掉落到硅片，从而造成不必要的损失； 更改参数时，要将原来参数进行记录并保存； 吹扫吸盘和顶齿时，要谨小慎微，价格比较昂贵； 机器运转时，严禁将手升入机械运动位置，处理故障要停机修复。 专业名