河南理工2扫描电镜摘要.pptVIP

第2章 扫描电子显微镜 扫描电镜的发展 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的形貌和原子衬度 扫描电镜在材料中的应用 电子探针显微分析技术及应用 扫描电镜的特点 样品制备简单 多角度观察 景深大 放大倍数连续可调 观察样品表面形貌的同时可作微区成分分析 2.1 扫描电镜的发展 目前采用常规的钨灯丝电子枪的二次电子像分辨率为3.5nm 采用LaB6电子枪的分辨率为2.5nm 采用场发射电子枪的分辨率则为1.5~0.8nm 2.2 扫描电镜的工作原理 如图所示，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括： 背散射电子 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子，它来自样品表层0.1~1?m深度范围，其能量近似于入射电子能量，背散射电子产额随原子序数的增加而增加。利用背散射电子作为成象信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成份分析。 二次电子 二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子，它来自于样品表面100?左右(50~500?)区域，能量为0～50eV，分辨率可达到50~100? 二次电子产额随原子序数的变化不明显，主要决定于表面形貌。 吸收电子 残存在样品中的入射电子，经多次散射被样品吸收，称吸收电子。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。 已应用于扫描电镜和电子探针 特征X射线 样品中原子受入射电子激发后，在