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刻蚀洗磷基本知识讲解 10.12.18 C1A-B 冯姝妹 刻蚀 刻蚀的目的及其原理 刻蚀机 等离子刻蚀机由反应室、真空系统、送气系统、高频源、匹配器等部分组成。 刻蚀的工艺流程 注意：辉光压力，氧气、四氟化碳流量，辉光功率，板压、板流 刻蚀操作流程 取片 来料检查 装片 装片 填写流程单 进机器 运行 卸片 测边阻 SPC 刻蚀操作注意事项 在传递窗拿取硅片时，要双手抱住承载盒的底部，最多只能拿两批。严禁单手拿取，严禁拿两批以上。 刻蚀操作注意事项 装片时，必须把硅片码齐，不允许硅片参差不齐。 刻蚀操作注意事项 放聚四氟乙烯假片和聚四氟乙烯挡板时，要确认上面没有硅片碎渣和其他碎屑物。 碎屑物要清除 刻蚀操作注意事项 双手一定要同时旋拧铝制夹具的两个螺母 刻蚀操作注意事项 将装好的硅片放入刻蚀机中时，一定要竖直将其放入，铝制夹具的底部方形凹槽一定要与机器的方形内突起卡好。 夹具凹槽与方形突起 刻蚀操作注意事项 机器盖一定要与腔体对齐，严禁留缝隙。 常见故障及其处理方法 故障 处理方法 不辉光 未达到辉光压力；高频电源坏；预热档未打开 辉光颜色异常 漏气、密封圈、石英管 断电 保险丝坏 “预热”开而不上电 保险管断；“预热”开关坏 刻蚀不良及其处理方法 洗磷