InTexTraining程序.ppt

清洗制绒培训课件 刘汉清 太阳能电池生产流程 硅片从切片工序到电池车间之间，要经历很多工序，在这些工序中，硅片的表面会附着部分的杂质和污物，这些杂质和污物会严重电池的性能，所以要对硅片进行表面清洗以去除这些杂质。 硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚 的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经 不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半 导体器件（太阳电池）的性能。清洗工序制绒 工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸 对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增 加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提 高太阳电池的转换效率。 晶体结构：金刚石结构（正四面体） C. 金属离子沾污：必须采用化学的方法才能清洗其沾污，硅片表面金属杂质沾污有两大类： 　 a.一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。 b.另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着（尤如“电镀”）到硅片表面。 硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污，一般可按下述办法进行清洗去除沾污。 　　 a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成 金属，溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。 　　b. 用无害的小直径强正离子（如H+）来替代吸附在硅片表 面的金属离子，使之溶解于清洗液中。 　　c. 用大量去离水进行超声波清洗，以排除溶液中的金