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摘 要 超光滑表面是指表面粗糙度Ra≤1nm的光学零件表面，这种高要求相对于普通的光学零件其加工难度相当高。 为了获得精度高要求的超光滑表面，国内外相继展开了超光滑表面加工技术的研究，本文主要讲了现有超光滑表面的加工方法：浴法抛光、浮法抛光、弹性发射抛光、等离子体辅助抛光、聚四氟乙烯抛光、磁流变抛光法。分别对其加工原理进行了阐述，并指出各个加工方法的优缺点。 本文对超光滑表面的检测方法也进行了研究,分别对其面形精度和粗糙度两方面进行了阐述。 关键词：超光滑表面 纳米 抛光 加工技术 粗糙度 ABSTRACT The surface roughness is the basic parameter of ultra Smooth Surface，it is required that Ra≤ 1nm.This high requirements relative to the common optical parts processing difficulty quite high. In order to obtain high precision super smooth surface, Chinese and foreign have launched a super smooth surface processing technology research ,This article mainly about the ultra-smooth surface processing methods: Bath and method of polishing、Float polishing、Elastic launch polishing、Plasma assisted polishing、PTFE polishing 、magnetic rheological polishing method. Its processing principle described，and pointed out the advantages and disadvantages of various processing methods. This paper, ultra-smooth surface of the detection methods were also studied，We wear elaborated Surface accuracy and roughness. Keywords：Super smooth surface Nanometer surface Polishing Machining technology Roughness. 超光滑表面的加工方法及原理 2.1 浴法抛光 浴法抛光( Bowl Feed Polishing) 也称为水中抛光法, 2-1为其抛光示意图[3]。 与传统的抛光设备相比，水中抛光设备中多了一个液槽和搅拌器。抛光过程中液槽使抛光盘和工件浸没于抛光液中，抛光液的深度以静止时淹没工件10～15mm.抛光方式和工艺与传统抛光相似。 图2-1浴法抛光示意图 1-液槽 2-抛光液 3-搅拌器 4-抛光盘 5-工件 (1)获取较高面形阶段 这一过程类似于传统抛光及面形修改工艺。 (2)获得超光滑表面阶段 此阶段有两条途径： ①面形改好后，将搅拌器移去，继续抛光直至抛光液变清澈，然后再继续抛光10～15min. 由于工件浸于抛光液中，使得磨盘与工件的吻合性更好，保证了研磨表面温度的均衡性，抛光小环境相对稳定。 水中抛光早在60年前就已出现，当时美国为发展远紫外波段光学，需要平面度和粗糙度很高的光学元件。采用此方法在熔石英平面上获得了0.3nm(rms)的超光滑表面，而当时用常规方法，只能获1～4nm2-1是几种材料水中抛光的结果： 表2-1材料 磨料 粗糙度(A) F4 AL2O3 (超级-SO1200A) 10 BK-7 6 Duran50硼硅酸盐玻璃 5.3 融石英 5.5 融石英 3.3 晶体石英 4.4 2.5 2.2 浮法抛光 浮法抛光FP)是日本大阪大学南波Y.Namba)教授为加工磁头材料在1977年提出的。,且转速较快，一般为60～200r/min该方法已获得表面粗糙度小于0.1nm，平面度小于λ/20的超光滑表面[4]。 如图2-2所示为FP方法示意图。