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第三章 物理光学 (2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ 牛顿环 光电器件只直接接收光强度变化，解调出被测信息---直接检测光电系统。 光信息加载于非相干光源的光载波的振幅、频率、相位中---非相干检测系统。 光源是相干光源，被测信息加载于光的幅值、频率、相位中---相干检测系统 直接检测系统：是将携带有待测量的光信号直接入射到探测器光敏面，光探测器响应光辐射强度而输出相应的电流或电压。 不能改善信噪比，但对不太微弱的光信号的探测则是很适宜的检测方法。简单、易于实现、可靠性高，成本低，应用广泛。 直读法： 直读法：简单采用直读法的光电检测系统通常只能用于开关控制或粗略的定量检测。 指零法 磁光物质未放入，输出为0。当放上被检物质后，该物质在磁场作用下，产生旋光，检偏器输出端有光的输出，指示器不为零。转动检偏器使转角等于被检物质引起的偏振角时，使指示器再次为零。读取转角，即可获得偏振物质引起的偏振面的旋转角。 马吕斯定律 I=I0 cos2α 其中α为检偏器的偏振化方向与入射偏振光的偏振化方向之间的夹角。 差动法 将光源发出的光分成两路，其中一路光经待测量量调制后到达光电探测器，称为信号光路，另一路光不受待测量变化的影响，称为参考光路，把两路光检测出来后取出差值作为输出。 优点：消除光电器件暗电流，若两探测器位置接近，背景光对它们产生的影响相同，输出之差可基本将背景光的影响消除。 图1 图1两通道差动法缺点：采用两个光电检测器PD的性能有差异，引起误差。为了解决这个问题，可采用分时差动。用一个PD分时采集两个光路的信号，再进行相应的信号处理。 图2 图2差动法缺点：当光源不稳定时，分时检测的不同时段，光源的状况可能不同。补偿式光电检测系统相当于一个反馈控制系统，对于光源的光通量的变化及背景光等因素的影响可抵消。 图3 此结构中巧妙设计一个光学系统，使得待测信号为某一值时，两路光信号光通量相等，即Φ2=Φ1=Φ，而当待测信号变化时，引起其中一路光信号的光通量增加，而另一路光的光通量减少。 用探测器分别将Φ2和Φ1检测出以后进行如下处理 取样器1反射回的光信号作为计数脉冲开始计时的信号，回波信号作为计数脉冲结束信号。 用于检测光斑在四象限的不均匀性。 PSD二输出或四输出，根据其两端或四端的光电输出信号可以得出光斑在光敏面上的光能质心的位置。 测液位：液面I是基准位，光线经过液面I反射的光线入射到PSD的中心位置O。当液面下降到II位置时，反射光线射到M点。根据PSD的输出信号可计算机液位的变化量。 第六节： 相干检测方法与系统 1、法布里-珀罗（Faby-Perot)多光束干涉仪，不同波长成分的光形成各自的圆环条纹，由于亮条纹极锐，波长差极小的光谱也能分离，故有极高的光谱分辨率，常用来研究光谱的精细结构和超精细结构。 2、同频率相干信号相位调制与检测方法 反射光的偏振化程度与入射角有关。 布儒斯特定律：若光从折射率为n1的介质射向折射率为n2的介质，当入射角满足 时，反射光中就只有垂直于入射面的光振动，而没有平行于入射面的光振动，这时反射光为线偏振光，而折射光仍为部分偏振光。这就是Brewster定律。其中i0叫做起偏角或布儒斯特角。 布儒斯特定律 i 0 — 称为布儒斯特角或起偏角 折射光仍为部分偏振光 入射角为i 0 ， 反射光线垂直折射光线 n2 n1 理论实验表明：反射所获得的线偏光仅占入射自然光总能量的7.4%，而约占85%的垂直分量和全部平行分量都折射到玻璃中。 可以利用玻璃片来获得线偏振光，只用一片玻璃的缺点： 以布儒斯特角入射时，反射光虽为线偏振光，但强度太小 透射光的强度虽大，但偏振度太小 为解决这个矛盾，让光通过由多片玻璃叠合而成的倾斜的片堆，并使入射角等于布儒斯特角，经过多次的反射和折射，既能获得较高的偏振度，光的强度也比较大。 （2）由二向色性产生偏振光 一些各向异性的晶体对不同振动方向的偏振光有不同的吸收比。当自然光 入射1mm厚的电气石时，电气石将一个方向的光全部吸收掉，使透射光成为振动方向与该方向垂直的线偏振光。 · 非偏振光 线偏振光 光轴 电气石晶片 · · （3）双折射晶体产生线偏振光 在双折射晶体中内，自然光波被分解成光矢量互相正交的线偏振光传播，把其中的一束光拦掉，便得到线偏振光。 1、基本概念 普通光源发出的是自然光，用于从自然光中获得偏振光的器件称为起偏器 人