阻抗式结构型传感器.docVIP

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2 阻抗式结构型传感器技术 1 阻抗式结构型传感器的敏感元件---------------------------------------------------------------------1 1.1弹性敏感元件的主要性能------------------------------------------------------------------1 1.2常用弹性元件的结构和性能---------------------------------------------------------------2 1.3弹性敏感元件的材料------------------------------------------------------------------------6 2 电阻应变式传感器------------------------------------------------------------------------------------7 2.1 电阻应变计的基本原理与结构------------------------------------------------------------7 2.2 电阻应变计的主要特性---------------------------------------------------------------------9 2.3 电阻应变计的温度效应及其补偿---------------------------------------------------------11 3 电容式传感器------------------------------------------------------------------------------------------14 3.1电容式传感器的原理与结构--------------------------------------------------------------14 3.2 应用中存在的问题及其改进措施--------------------------------------------------------17 4 电感式传感器------------------------------------------------------------------------------------------21 4.1 电感器式传感器的原理---------------------------------------------------------------------21 4.2自感式传感器的原理与结构---------------------------------------------------------------22 4.3 互感式传感器(差动变压器)------------------------------------------------------------23 4.4自感式和互感式传感器的误差------------------------------------------------------------26 4.5电涡流式传感器------------------------------------------------------------------------------28 5 调理电路---------------------------------------------------------------------------------------------------31 5.1 电桥式测量电路(直流与交流电桥)----------------------------------31 5.2阻抗式传感器的差动结构------------------------------------------------------------------37 5.3电流电压积分差动电路----------------------------------------------39 5.4 直接放大(后续电路或软件调零)------------------------------------42 6 微机械传感器--------------------------------------------------------------44 6.1微机电系统的分类和特点---------------

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