ch1-微惯性系统理论与应用.ppt

电子消费品 Wii游戏机（任天堂） 采用三轴动作信号处理技术的游戏控制器 控制器：MEMS加速度计和MEMS陀螺仪 MEMS器件能够感觉玩家在三个维度上的动作的能力：前/后，左/右和上/下。当它被抓在手上的时候，系统就会根据控制器加速度感知动作、深度和位置情况。 鼠标 Gyration公司：ProGoGyrotransport鼠标 一个简单易用的基于自由空间移动和手势的定位和控制系统。在假象的平面上挥动鼠标,屏幕上的光标就会跟着移动,并可以绕着链接画圈和点击按键。当你正在演讲或离开桌子时,这些操作都能够很方便地实现。 相机防抖 以佳能为主的光学防抖。把陀镙仪装在镜头里，它能检测到镜头抖动，从而把信号传递到镜片来修正因震动带来的偏差。 相机防抖 以索尼代表的以感光元件防抖方式。它是把陀镙仪装在感光元件下面（CCD或CMOS）。作原理是由机身检测到震动的时候，陀镙仪产生的电流就把感光元件以震动的反方向来摆动。从而把感光元件来固定下来以防止因手抖动带来的照片模糊。 制导系统 制导系统通常安装在各种类型的无人驾驶飞行器如导弹（包括鱼雷）、航天器和无人驾驶飞机上，实现自动控制。在有人驾驶的飞机、舰船和潜艇中，也常用制导系统来协助领航员工作。在飞行器中，制导系统常常与姿态控制系统交联在一起。 ERGM是一种类导弹型制导弹药，是美国海军正在研制中的增程型制导弹药的代表。它长1.52米，重50公斤，后部有尾翼，前鼻附近有升降舵。 微型制导系统：MMIMU/GPS ERGM飞行姿态与导弹相似，可利用全球定位系统的信号导航，对目标的打击精度在20米以内。 单兵系统 单兵系统是指集成了武器、通讯、定位、防护等诸多子系统在内的系统。以美国陆地勇士单兵系统为例,步兵除了配备步枪、夜视仪、防弹衣等突击、防护装具外,还有GPS、单兵电台等电子设备,每个士兵都是网络中心战的节点。 士兵可以借助单兵系统感知战场态势,了解最新动向。 三、课程内容安排 第一部分 微惯性系统基础理论 第二部分 微惯性器件的制备 第三部分 微惯性器件理论与设计 第四部分 设计技术 第五部分 微惯性器件测试 第六部分 微惯性器件的封装技术 课程内容包括： 四、参考资料 1、 《微惯性技术》 刘俊等 电子工业出版社 2005.11 2、《硅微型惯性器件理论及应用》 王寿荣 东南大学出版社 2000.10 3、 《微惯性以表- 微机械加速度计》 董景新 清华大学出版社 2003.4 4、《MEMS和微系统——设计与制造》 徐泰然 机械工业出版社 2004.1 * 微静电马达 1988年，加州伯克利分校 马达的直径为100μm，厚度仅为1μm，在350V的三相电压作用下最大转速可达500转/分钟。 数字光学控制器(DLP) 1987年美国德州仪器（TI）公司发明 优点：高分辨率、高对比度、响应速度快、带宽等。 应用：数字相机、高频天线阵列、新一代外层空间望远镜、全息照相、数字图像处理等，目前，DMD广泛应用于数字光处理器件(DLP)，用于数字投影显示（DPD）、高清晰度电视（HDTV）、微型显示。 目前,全球已经有将近40家著名的TV和放映设备厂商开始采用DLP子系统。LG公司也在韩国电子展览会上展示了一款采用DLP子系统的52英寸彩电(1英寸= 2. 54 cm) 。 RF MEMS MEMS麦克风是利用硅薄膜来检测声压的，MEMS麦克风能够在芯片上集成一个模数转换器，形成具有数字输出的麦克风。MEMS麦克风用途广泛，目前主要应用在手机、数码相机、MP3播放器和PDA、耳机和助听器等领域。 楼氏声学公司出品的SiSonic贴片式MEMS麦克风 MEMS麦克风 微型生物分析仪 2. MEMS的基本特征 尺度微型化、系统集成化 当尺度缩小到微米乃至亚微米量级时，产生尺度效应，使得物理现象与宏观世界有很大差别。 MEMS尺度 尺度效应特征： 力的尺度效应。与特征尺寸高次方成比例的力的作用减小（惯性力、体积力、电磁力），与特征尺寸低次方成比例的力的作用明显增加（静电力、摩擦力、黏性力），并成为影响MEMS性能的主要因素。 力的尺度效应 表面效应。表面积与体积之比相对增大，表面效应突出 。从而热传导、化学反应均加速，表面摩擦阻力显著增大。 S/V?10-4/mm S/V?0.1/mm a b c S/V=l-1/mm * 尺寸减小10倍，体积减小1000倍， 而表面积仅仅减小100倍，同样重量也减小1000倍。 材料的尺度效应。尺度越小，元器件内部缺陷出现的概率越小，从而器件的强度会大幅度增加。MEMS器件的弹